
IR ব্যবহার করে MEMS সেন্সরগুলো পরিষ্কার করা
যারা কখনও MEMS সেন্সর নিয়ে কাজ করেছেন, তারা অবশ্যই জানেন ওয়েফারগুলো শুকানোর কতটা কঠিন। একটি ছোট্ট জলের দাগ বা আয়নিক দূষণই পুরো ওয়েফারটিকে নষ্ট করে দেয়। বছরের পর বছর ধরে আমরা কনভেকশন ওভেন ব্যবহার করে এসেছি; কিন্তু সত্যি বলতে, শুধুমাত্র ওয়েফার শুকানোর জন্য পুরো চেম্বারটিকে উত্তপ্ত করা হলো শক্তির অপচয়।
এই কারণেই আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প ব্যবহার করি। এখানে বাতাসকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠকে উত্তপ্ত করা হয়। এটা অনেক কার্যকর, আর পরিবেশের জন্যও ভালো।
ইনফ্রারেড ল্যাম্পের কার্যপ্রণালী
IR ল্যাম্পগুলো বিকিরণের মাধ্যমে কাজ করে। আপনাকে ঘরটিকে উত্তপ্ত হতে অপেক্ষা করতে হয় না; শক্তি সরাসরি লক্ষ্যবস্তুতে পৌঁছায়। কিন্তু শক্তির পরিমাণটি ঠিক রাখতে হয়। যদি ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফার ব্যবহার করা হয়, তাহলে ল্যাম্পগুলোকে নিখুঁতভাবে সামঞ্জস্য করতে হয়। যদি শক্তির পরিমাণ কম থাকে, তাহলে ওয়েফারে দাগ দেখা দেয়; আবার যদি বেশি থাকে, তাহলে MEMS সেন্সরগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়। এটা এক ধরনের ভারসাম্য বজায় রাখার ব্যাপার।
আমরা কী ব্যবহার করি?
এটা কার্যকর করার জন্য আমরা উচ্চ-গুণমানের কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এগুলো দ্রুত উত্তপ্ত/শীতল হওয়ার প্রক্রিয়ায় কোনো ক্ষতি নেয় না। আমরা হ্যালোজেন-ভর্তি ফিলামেন্টও ব্যবহার করি; কারণ এগুলো দীর্ঘসময় ধরে কাজ করে এবং আলোর উৎপাদন স্থিতিশীল রাখে। হার্ডওয়্যারের ক্ষেত্রে আমরা R7s বা SK15 কানেক্টর ব্যবহার করি। এগুলো ভালোভাবে ফিট হয়; ফলে কোনো সমস্যা হয় না, আর রক্ষণাবেক্ষণের সময় ল্যাম্প পরিবর্তন করা সহজ হয়।
বাস্তব জগতের অসুবিধাসমূহ
IR ব্যবহার করলে “গ্রিন ফ্যাক্টরি” লক্ষ্যগুলো অর্জন সহজ হয়; কারণ উত্তপ্ত হওয়ার সময় ও প্রতি ওয়েফারে ব্যবহৃত শক্তির পরিমাণ কমে যায়। কিন্তু এরও একটি অসুবিধা রয়েছে। এত শক্তির ফলে ল্যাম্পের ভিতরে অনেক তাপ উৎপন্ন হয়। যদি কুলিং ফ্যান ও হিট এক্সচেঞ্জারগুলো যথাযথভাবে কাজ না করে, তাহলে ল্যাম্পগুলো দ্রুত নষ্ট হয়ে যায়।
যখন ওয়্যারিং ও কুলিং ব্যবস্থা ঠিকমতো করা হয়, তখন সবকিছু ঠিক হয়ে যায়। ওয়েফারগুলো দ্রুত প্রক্রিয়াজাত হয়, শক্তির অপচয় হয় না, আর ব্যবহৃত জায়গার পরিমাণও কমে যায়। অর্থাৎ, প্রাথমিকভাবে কিছুটা শক্তি ব্যবহৃত হলেও, শেষ পর্যন্ত অনেক কম শক্তি ব্যবহৃত হয়।