গোল্ড-কোটেড টুইন-টিউব ল্যাম্প ব্যবহার করে থার্মাল লোডগুলো সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়।
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্রক্রিয়ায়, যদি থার্মাল প্রোফাইলটি একচুলও ভুল হয়, তাহলে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যায়। এটা খুবই ঝুঁকিপূর্ণ পরিস্থিতি। আমরা দেখেছি যে, টুইন-টিউব, গোল্ড-কোটেড IR ল্যাম্প ব্যবহার করলেই অল্প শক্তি ব্যয় করেই লক্ষ্যগুলো অর্জন করা যায়।
কেন গোল্ড ও টুইন-টিউব ব্যবহার করা হয়?
সাধারণ কোয়ার্টজ টিউবগুলো থেকে শক্তি লিক হয়ে যায়; ফলে অপচয় হয়। কোয়ার্টজ টিউবের অভ্যন্তরে গোল্ড কোটিং দেওয়ার ফলে ল্যাম্পটি একটি “আয়না”-এ পরিণত হয়। ফলে তাপ চারদিকে ছড়িয়ে না গিয়ে সরাসরি ওয়েফারের দিকে চলে যায়। এতে আপনি ঠিক সেখানেই তাপ পান, আর আপনার ক্লিনরুমটি স্যাউনা-এ পরিণত হয় না।
টুইন-টিউব ডিজাইনের সুবিধা
টুইন-টিউব ডিজাইনটি খুবই কার্যকর। এতে রেডিয়েটিং এরিয়া দ্বিগুণ হয়, কিন্তু জায়গা বাড়ে না। ফলে আপনি বেশি ওয়াটেজ ব্যবহার করতে পারেন, আর বড় হার্ডওয়্যার ব্যবহার করার দরকার হয় না।
কিছু সীমাবদ্ধতা
আপনি শুধুমাত্র বিদ্যুৎ বাড়িয়ে দিলেই হবে না। ল্যাম্পগুলো বেশি কাজ করলে খুব গরম হয়ে যায়। গোল্ড কোটিংয়ের কারণে সিস্টেমটি দক্ষ হলেও, টিউবের তাপমাত্রা অনেক বেড়ে যায়। যদি কুলিং ফ্যান বা হিট সিঙ্কগুলো যথাযথভাবে কাজ না করে, তাহলে ফিলামেন্টগুলো নষ্ট হয়ে যাবে। এটা একটি ভারসাম্যের ব্যাপার। আপনাকে প্রতি ইঞ্চিতে কত ওয়াটেজ প্রয়োজন, আর আপনার সিস্টেম কতটা ভালোভাবে তাপ নিয়ন্ত্রণ করতে পারে—এই দুটো বিষয় বিবেচনা করতে হবে।
কার্বন ফুটপ্রিন্ট কমানো
বেশিরভাগ ফ্যাব্রিকেশন সেন্টারই “সবুজ” হওয়ার চেষ্টা করে; কিন্তু “সবুজ” মানে সাধারণত “বেশি টাকা খরচ করা”。 কিন্তু এবার তা নয়।
পুরানো ধরনের ওভেনগুলো অদক্ষ; কারণ এগুলো চেম্বারের প্রতিটি ঘন ইঞ্চিকে উত্তপ্ত করার চেষ্টা করে। আমাদের IR সিস্টেমগুলো সরাসরি সাবস্ট্রেটকে উত্তপ্ত করে।
গোল্ড-কোটেড টুইন-টিউব ল্যাম্পগুলো দ্রুত উত্তপ্ত হয়; ফলে সাইকেল টাইম কমে যায়। কম সময়েই ওয়েফারগুলো প্রস্তুত হয়। আর যখন এগুলোকে জোনড কন্ট্রোল সিস্টেমের সাথে সংযুক্ত করা হয়, তখন পুরানো রেজিস্টিভ হিটারগুলোর কারণে হওয়া অতিরিক্ত শক্তি ব্যবহার বন্ধ হয়ে যায়।
এটাই হলো আরও কার্যকরভাবে কাজ করার উপায়।