
Přestaňte plýtvat energií: Lepší způsob, jak pracovat s infračerveným teplem
Buďme upřímní: Plýtvání energií v továrnách na výrobu polovodičů znamená prostě plýtvání penězi. Většina lidí používá běžné hliníkové reflexory, ale problém je v tom, že nejsou schopny zachytit celé spektrum infračervené lampy. Velká část této energie prostě unikne do korpusu stroje. Je to plýtvání.
Proto jsme přešli na reflexory potažené zlatem. V podstatě zachycujeme tu ztracenou energii a odrážíme ji zpět na wafer, kam opravdu patří.
Proč zlato?
Hliník používají všichni, ale zlato je prostě lepší při práci s infračerveným světlem. Díky přesné vrstvě zlata zabráníme tomu, aby refraktor pohlcoval teplo.
To znamená, že každý watt energie, který získáte z napájecí sítě, skutečně dosáhne cíle. Dosáhnete tak mnohem vyšší hustoty tepla bez nutnosti zvyšovat napětí v lampách. Je to efektivní. Jednoduché.
Jde o křivku
Rovná kovová plocha samozřejmě nebudie fungovat. Vynakládáme hodně úsilí na správnou křivku reflektoru, abychom zajistili, že infračervený paprsek bude správně zaměřen.
Pokud je geometrie i jen o něco špatná, vzniknou chladné body nebo divné teplotní gradienty na silikonu. Ale když je vše správně nastaveno? Dosáhnete požadované teploty rychleji, což znamená kratší dobu provozu.
„Nevýhody“
Nic není dokonalé. Zlato je skvělé z hlediska efektivity, ale je měkké – mnohem měkčí než anodizovaný hliník.
Prosím, ze strachu o vaše zařízení, nečistěte je abrazivními padami. Pokud to uděláte, odstraníte povlak a reflexivita reflektoru se výrazně sníží. Používejte prosím metody čištění bez kontaktu.
Vzhledem k tomu, že soustředíte více tepla na wafer, musíte pečlivě kontrolovat oblasti chlazení. Nechcete přece překročit nastavenou teplotu, protože budete používat mnohem více energie než dříve.
Jak to funguje
Nejlepší na tom je, že se jedná o náhradní díly, které lze jednoduše nasadit místo původních. Nemusíte přepínat celý systém ani trávit víkend demontáží. Stačí vyměnit obal, kalibrovat pyrometry tak, aby zvládly vyšší teploty, a máte vše hotovo.