
Proč používáme infravlnové lampy v linkách na oplachování polovodičů
Přechod k „zelenějším“ metodám v výrobách polovodičů neznamená jen vyplnění formulářů pro potvrzení souladu s předpisy. Jde o odstranění škodlivých látek a omezení ztrát energie. Proto jsme přešli na vodotěsné infračervené (IR) lampy určené k sušení.
Jde o toto: místo ohřevu vzduchu a celé místnosti jako v obrovské troubě, IR záření působí přímo na čip. Je to efektivní a cílené řešení.
Omezování plýtvání energií
Tradiční sušení horkým vzduchem spotřebovává hodně energie – musíte utrácet spoustu peněz jen na udržování požadované teploty. IR záření funguje jinak – vysílá krátkovlnné nebo střednovlnné záření, které proniká do kapalné vrstvy na čipu, čímž způsobí vibrace molekul vody a jejich okamžitou evaporaci.
Je to rychlé. Opravdu rychlé.
Díky tak rychlému nárůstu teploty není potřeba tolik energie na sušení jednoho čipu. Navíc nevznikají žádné spalovací plyny ani rozpouštědla, což činí prostor určený k výrobě polovodičů mnohem zdravějším místem.
Řešení problému „mokré zóny“
Stanice na oplachování jsou samozřejmě mokré. Pokud tam umístíte běžnou IR trubici, ta se okamžitě porouchá, jakmile ji zasáhne kapka vody. Termický šok je opravdu velký problém.
Abychom to vyřešili, používáme lampy s speciálními křemičitými obaly a hermeticky uzavřenými konci. To v podstatě chrání elektrody před vlhkostí. Lampy lze umístit přímo nad nádrž na oplachování, aniž byste se během práce museli obávat páry nebo kapalin, které by mohly způsobit poruchy.
Nalezení rovnováhy
Je tu však jeden problém – vysoce výkonné IR lampy produkují velké množství tepla. Tato teplota je sice ideální pro rychlé sušení, ale zároveň zatěžuje chladicí systém. Pokud se pás dopravy pohybuje příliš pomalu, čip se přehřeje nebo se poškodí fotoresistent. Musíte tedy najít správnou rovnováhu mezi výkonem lampy a rychlostí pásu, abyste čip neponičili.
Jakmile najdete tu správnou rovnováhu, můžete se zbavit těch objemných a energeticky náročných sušiček. Výsledkem bude mnohem menší prostor a linka, která skutečně respektuje životní prostředí.