In der Fertigungshalle ist das Erhitzen des Fotoresists keine Empfehlung – es handelt sich dabei vielmehr um eine notwendige thermische Prozedur. Schon eine Veränderung von 0,5°C kann zu Abweichungen in den kritischen Dimensionen führen. Zudem kann bereits ein einziger Partikel aus dem Schutzgehäuse dazu führen, dass die Wafer beschädigt werden. Unser Quarzschutzgehäuse für IR-Lampen ist genau auf diese Bedingungen ausgelegt: Es sorgt dafür, dass die Leistung der Lampe konstant bleibt, die Kammer sauber bleibt und der Prozess unter Kontrolle bleibt.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden hochreinen Quarz, damit die Energie ohne spektrale Verluste auf die Wafer übertragen werden kann. Die Geometrie des Schutzgehäuses ist so gestaltet, dass eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Waferoberfläche gewährleistet wird – mit einer Genauigkeit von ±0,1°C. Das Schutzgehäuse ist außerdem für den Einsatz in Reinräumen der Klasse 1–100 geeignet; es entstehen während der thermischen Prozesse keine Partikel. Die Schnittstelle passt zu den Standard-Lampengehäusen, wodurch die Ausrichtung sowie die Dichtigkeit gewahrt bleiben.
Warum das in der Lithografie und im Umgang mit Fotoresisten wichtig ist: Man benötigt Erhitzungsprofile, die über die gesamte Produktionscharge hinweg konstant bleiben. Dieses Schutzgehäuse hält die Leistung der Lampe über 5.000 Stunden lang konstant – dadurch wird eine Abweichung der Leistung vermieden und das thermische Gleichgewicht bewahrt.
Das bedeutet weniger Nacharbeiten, höhere Erträge sowie eine bessere Kontrolle der Waferdimensionen. Zudem wird durch effiziente Wärmeübertragung Energie verschwendet, und durch zuverlässigen Betrieb rund um die Uhr wird unnötige Wartung verhindert.
Ein paar praktische Hinweise:
Quarz ist zwar widerstandsfähig, doch er ist empfindlich gegenüber mechanischen Belastungen sowie bestimmten Reinigungsmitteln. Arbeiten Sie daher mit sauberen Werkzeugen und vermeiden Sie Kontakt mit der Strahlungsfläche. Überprüfen Sie außerdem die Kompatibilität des Schutzgehäuses mit den Reinigungsmitteln sowie den Kühlprozessen in Ihrer Kammer.
Bei der Installation muss die Ausrichtung der Lampe sowie die thermischen Abstände gewahrt bleiben. Schon eine kleine Fehlausrichtung kann zu Hotspots führen und die Gleichmäßigkeit beeinträchtigen.