Wenn Ihr Thermoelement undicht wird – bricht alles zusammen
In der Welt der Halbleiterheizungen bedeutet ein Versagen des Thermoelements nicht einfach nur „falsche Werte auf dem Display“. Es handelt sich dabei um einen Albtraum. Wenn die Isolierung versagt, kommt es zu einem elektrischen Leck. Das bedeutet, dass die Wafer ruiniert sind – oder noch schlimmer: Die Stromversorgung funktioniert nicht mehr. Wir bauen unsere Sensoren so, dass sie solchen Belastungen standhalten können. Doch wir hoffen nicht einfach darauf, dass sie funktionieren. Jeder Sensor wird vor dem Verkauf einer Hochspannungs- sowie Isolierprüfung unterzogen.
Die hässliche Realität eines Versagens der Isolierung
Diese Heizgeräte arbeiten unter extrem engen Toleranzen. Um zu verhindern, dass die Sensordrähte mit dem Heizelement in Berührung kommen, verwenden wir hochreines Aluminiumoxid oder spezielle Keramiken. Doch das Problem ist: Hitze ist grausam. Ständiges Heizen und Abkühlen führt dazu, dass in den Keramiken winzige Risse entstehen. Wenn Feuchtigkeit oder Schmutz in diese Risse eindringt, sinkt die Isolationsfestigkeit. Plötzlich fließt Strom direkt vom Heizelement in den Steuerkreis. Dadurch entstehen Störungen im PID-Schaltkreis. Im schlimmsten Fall funktioniert der Controller überhaupt nicht. Das ist sicherlich keine gute Grundlage für einen Dienstag.
Warum wir alles testen – und ich meine wirklich alles
Viele Firmen prüfen nur ein paar Stücke aus einer Charge und sind damit zufrieden. Wir tun das nicht. Jeder Sensor wird einer Dämpffestigkeitsprüfung unterzogen. Dabei wird eine viel höhere Spannung angelegt, als die der Sensor im Betrieb erleben wird. Warum? Weil wir möchten, dass alle versteckten Mängel ans Licht kommen. Wenn es Löcher in der Isolierung gibt oder die Verbindungen nicht richtig sind, dann versagt der Sensor. Das erspart Ihnen das Risiko, mit Ihrer Ausrüstung zu experimentieren. Sie erhalten einen Sensor, der tatsächlich isoliert ist und sofort verwendet werden kann – ohne Angst vor Fehlfunktionen.
Das Gleichgewicht zwischen Sicherheit und Geschwindigkeit
Man könnte meinen: „Warum macht man die Isolierung nicht einfach dicker?“ Doch da gibt es ein Problem: Eine dickere Isolierung bedeutet mehr Masse. Mehr Masse bedeutet, dass es länger dauert, bis die Wärme zum Sensor gelangt. Wenn der Sensor zu groß ist, geht die notwendige Reaktionszeit verloren. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewicht zwischen absoluter elektrischer Sicherheit und Geschwindigkeit. Wir investieren Zeit dafür, die Materialien so anzupassen, dass sowohl Sicherheit als auch Geschwindigkeit gewährleistet werden können.