چگونه میتوان با استفاده از لامپهای دو لولهای پوشیده شده با طلا، بار حرارتی را به درستی کنترل کرد؟
در کارخانههای تولید نیمههادی، حتی کوچکترین انحراف در مقادیر حرارتی میتواند منجر به خراب شدن ویفرها شود. این یک بازی پرخطر است. ما دریافتهایم که استفاده از لامپهای مادون قرمز دو لولهای پوشیده شده با طلا، بهترین راه برای رسیدن به اهداف مورد نظر، بدون هدررفت انرژی زیاد، است.
چرا از طلا و ساختار دو لولهای استفاده میشود؟
لولههای کوارتزی استاندارد دارای نشت انرژی هستند؛ انرژی از آنها به سراسر دستگاه منتقل میشود، که این کار باعث هدررفت انرژی میشود. با پوشاندن داخل لولههای کوارتزی با طلا، در واقع لامپ را به یک آینه تبدیل میکنیم؛ در نتیجه، گرما به جای اینکه به همه جا پراکنده شود، مستقیماً به سمت ویفرها بازمیگردد. این کار باعث میشود گرما در جای مناسب تمرکز کند و اتاق کارخانه نیز به یک سونا تبدیل نشود.
همچنین، ساختار دو لولهای نیز یک راهکار هوشمندانه است؛ این ساختار، سطح تابش گرما را دوبرابر میکند، بدون اینکه فضای بیشتری اشغال شود. شما میتوانید مقدار بیشتری انرژی را از طریق این سیستم استفاده کنید، بدون نیاز به تغییر کل سیستم گرمایشی.
تعادل بین انرژی مورد نیاز و توانایی سیستم در کنترل گرما
البته، نمیتوانید فقط مقدار انرژی را افزایش دهید و از آن صرفنظر کنید. وقتی که این لامپها با توان بالا کار میکنند، دمای آنها بسیار بالا میرود. پوشش طلا، سیستم را کارآمدتر میکند، اما دمای سطح لولهها را نیز بالا میبرد. اگر فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده کافی نباشند، فیلامنتهای لامپ خراب خواهند شد. بنابراین، باید تعادلی بین مقدار انرژی مورد نیاز و توانایی سیستم در کنترل گرما برقرار کرد.
کاهش آثار منفی محیطی
اکثر کارخانهها سعی میکنند کارهای خود را به شکل سبز انجام دهند، اما «سبز» معمولاً به معنای هزینه بیشتر است. اما این بار اینطور نیست. فرنهای قدیمی، غیرکارآمد هستند؛ زیرا سعی میکنند هر سانتیمتر مکعب از هوای موجود در اتاق را گرم کنند. اما سیستمهای مادون قرمز ما، مستقیماً روی سطح ویفرها تأثیر میگذارند. از آنجایی که لامپهای دو لولهای پوشیده شده با طلا، سریعتر گرم میشوند، زمان لازم برای گرم شدن ویفرها کاهش مییابد. این کار باعث میشود مصرف انرژی برای هر ویفر کاهش یابد. علاوه بر این، وقتی که این لامپها به سیستمهای کنترل منطقهای متصل میشوند، افزایش ناگهانی انرژی که در فرنهای قدیمی رخ میدهد، کنترل میشود. این روش، راه سادهتری برای اداره کارخانههای تولید نیمههادی است.