چرا از لامپهای مادون قرمز در خطوط شستشوی نیمههادی استفاده میکنیم؟
رویکرد «سبز» در کارخانههای تولید نیمههادی، صرفاً برای رعایت استانداردها نیست؛ بلکه هدف آن، حذف گازهای سمی و کاهش مصرف انرژی است. به همین دلیل، از لامپهای مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها استفاده میکنیم.
در واقع، لامپهای مادون قرمز به جای گرم کردن هوا و کل اتاق، مستقیماً بر روی ویفر تأثیر میگذارند. این روش، روشی مؤثر و دقیق است.
کاهش هدررفت انرژی
روش خشک کردن با هوای گرم، روشی پرمصرف انرژی است؛ برای حفظ دمای محیط، نیاز به مصرف انرژی زیادی وجود دارد. اما لامپهای مادون قرمز به شکل متفاوتی عمل میکنند؛ آنها تابشهای کوتاه یا متوسط انتشار میدهند که به لایه مایع روی ویفر نفوذ کرده و باعث لرزش و تبخیر فوری مولکولهای آب میشوند.
این روش بسیار سریع است.
از آنجایی که این روش به سرعت انجام میشود، نیاز به مصرف انرژی کمتری برای خشک کردن هر ویفر وجود دارد. علاوه بر این، در این روش هیچ گاز یا محلولی وجود ندارد؛ بنابراین فضای کاری سالمتری خواهد بود.
مقابله با مناطق مرطوب
خطوط شستشو، به طور ذاتی مناطق مرطوبی هستند. اگر از لامپهای معمولی در این مناطق استفاده کنیم، با برخورد قطرات آب، لامپها خراب خواهند شد. برای حل این مشکل، از لامپهایی با پوشش کوارتزی و درپوشهای محکم استفاده میکنیم؛ این روش، مانع از ورود رطوبت به الکترودها میشود. میتوانیم این لامپها را مستقیماً روی مخازن شستشو قرار دهیم، بدون اینکه نگران بخارات یا قطرات آب باشیم.
یافتن تعادل مناسب
البته، یک مشکل وجود دارد؛ لامپهای مادون قرمز با توان بالا، گرمای زیادی تولید میکنند. این گرما برای سرعت بالای خشک کردن خوب است، اما فشار زیادی بر سیستم خنککننده وارد میکند. اگر سرعت نوار نقاله خیلی کم باشد، ویفر دچار گرمای بیش از حد خواهد شد. بنابراین باید تعادل مناسبی بین توان لامپ و سرعت نوار نقاله پیدا کرد، تا از آسیب به ویفر جلوگیری شود.
وقتی که این تعادل را پیدا کنیم، میتوانیم از آن تونلهای بزرگ و پرمصرف برای خشک کردن استفاده نکنیم؛ در این صورت، فضای کاری کوچکتری خواهیم داشت و خطوط تولید نیز محیط زیست را کمتر آسیب خواهند زد.