על גבי רצפת הייצור, הוואפר שזה עתה יצא מתהליך השטיפה עדיין לא בשל. סימני מים, חלקיקים זעירים ומתח תרמי כתוצאה מתהליך ייבוש לא יעיל יכולים לפגוע באיכות הוואפר עוד לפני שמגיעים לשלב הבא. האתגר האמיתי אינו רק הסרת המים – אלא גם ביצוע זה בצורה מדויקת, תוך שליטה מלאה על הפני השטח ועל הטמפרטורה.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בשיטת ייבוש מבוקרת, המאפשרת העברה מהירה של אנרגיה. המערכת שומרת על אחידות טמפרטורית ברמת הוואפר בטווח של ±0.1°C, כך שאין נקודות חמות או קרות שעלולות לגרום לבעיות בתהליך הייצור. החיממים משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים ובינוניים, ומשתמשים ברכיבי קוורץ וסיבי פחמן כדי לאפשר עלייה מהירה בטמפרטורה ושמירה עליה באופן יציב. כך נמנעת יצירת חלקיקים במהלך תהליך הייבוש, דבר שחשוב כדי לשמור על רמת ניקיון גבוהה בחדר הייצור. כתוצאה מכך, ניתן לשלוט בזווית המגע בין הוואפר לחומרים השונים, ולהשיג פני שטח ללא שאריות.
למה זה מתאים לתהליך הייצור? לאחר הניקוי, הוואפר צריך לעבור את תהליך הליתוגרפיה או תהליך הייבוש ללא כל זיהום – וללא השפעות תרמיות שעלולות לפגוע באיכות הוואפר. שיטת הייבוש שלנו מאפשרת שליטה מדויקת בטמפרטורה, וכך ניתן לשמור על איכות גבוהה של הוואפר בכל פעם. כתוצאה מכך, ניתן לצפות לזמני טיפול קבועים, פחות פסולת כתוצאה מסימני מים וחלקיקים, וזמן עבודה יציב. בנוסף, מכיוון שהשליטה בטמפרטורה היא מהירה ומדויקת, צריכת האנרגיה נשארת נמוכה – דבר שמסייע לשמור על קצב ייצור גבוה.
אלו הפרטים המעשיים: בעת ההתקנה, יש להתאים את זרימת האוויר בחדר הייצור להספק של החיממים, כך שהטמפרטורה תישמר גם תחת עומס. הממשקים של המערכת תואמים לתקני SEMI, אך עדיין יש להתאים את המסה התרמית של הוואפר לפרופיל הטמפרטורי, כדי למנוע עליות יתר בטמפרטורה. יש לבצע בדיקות ראשוניות כדי לתאם את קצב העלייה בטמפרטורה ואת זמן הייבוש לסוג החומרים המשמשים בתהליך הייצור.