वेफर निर्माण प्रक्रिया में, बायोसेंसरों के कार्य से तापीय विचलन होने की कोई गुंजाइश ही नहीं है। फोटोरेसिस्ट को गर्म करने के दौरान आधा डिग्री का भी विचलन लाइन-विड्थ को प्रभावित कर सकता है; इससे संवेदनशीलता भी कम हो जाती है, एवं प्रक्रिया विफल हो सकती है। हमने अपने इन्फ्रारेड लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे घंटों तक तापीय स्थिरता बनाए रख सकें।
वास्तव में, यहाँ महत्वपूर्ण बात यह है कि हम क्वार्ट्ज आवरण वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे ऊष्मा तेज़ी से स्थानांतरित होती है, एवं कोई गंदगी नहीं रहती। वेफर की सतह पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर; यह इन-सीटू मैपिंग से पुष्ट होता है। एक चक्र से दूसरे चक्र तक तापमान में ±0.2°C का ही विचलन होता है; इससे सॉफ्ट/हार्ड बेक प्रक्रियाओं में कोई विचलन नहीं होता। ये लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आते हैं; इससे परिचालन के दौरान कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता। 5,000+ घंटों तक आउटपुट 1% के भीतर ही रहता है, एवं तापीय प्रतिक्रिया समय 2 सेकंड से भी कम है – जो कि तेज़ नियंत्रण हेतु पर्याप्त है।
बायोसेंसरों में पतली फिल्में एवं संवेदनशील रासायनिक पदार्थों का उपयोग होता है; ऐसी सामग्रियाँ गर्म बिंदुओं या विलायकों के अवशेषों को सहन नहीं कर पातीं। इन्फ्रारेड तकनीक के द्वारा वेफर को सीधे ही गर्म किया जाता है, न कि पूरे चैंबर को; इससे तापीय विचलन कम हो जाता है, एवं लिथोग्राफी प्रक्रिया और भी सटीक हो जाती है। इसका परिणाम यह है कि पहली ही बार में उत्पादन दर बढ़ जाती है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं CD नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊष्मा केवल आवश्यक समय पर ही प्रदान की जाती है। विश्वसनीयता के कारण अप्रत्याशित रूप से प्रक्रिया रुकने की संभावना भी कम हो जाती है – जो कि तब बहुत ही आवश्यक है, जब प्रक्रिया सही तरीके से चल रही हो।
कुछ व्यावहारिक बातें: लैंप को एक विशेष पावर सप्लाई एवं क्लोज्ड-लूप पायरोमेट्री की आवश्यकता होती है, ताकि तापमान नियंत्रित रह सके। यह लैंप मानक ट्रैकों पर आसानी से लग सकता है; लेकिन पुराने बेक स्टेशनों पर इसके लिए थोड़े संशोधन आवश्यक हो सकते हैं। क्लीनरूम में केबलों की व्यवस्था ऐसी ही की जानी चाहिए कि हवा सही दिशा में बहे, एवं कोई कण भी अंदर न आए। सही तरीके से एलाइनमेंट एवं कैलिब्रेशन करने पर, सिस्टम पहले ही दिन से ही उच्च गुणवत्ता वाले उत्पादन हेतु तैयार हो जाता है।