जब हर सेकंड महत्वपूर्ण होता है, तो आईआर हीटिंग ही सबसे अच्छा विकल्प क्यों है?
यदि आप अभी भी वेफरों को गर्म हवा से ही गर्म करने पर निर्भर हैं, तो वास्तव में आप समय बर्बाद कर रहे हैं।
फोर्स्ड एयर हीटिंग में, हवा को गर्म करने में समय लगता है, और फिर उस गर्म हवा को वेफर तक पहुँचने में भी समय लगता है। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है। आईआर हीटिंग में ऐसी कोई देरी नहीं होती। इसमें ऊर्जा सीधे इलेक्ट्रोमैग्नेटिक विकिरण के माध्यम से सिलिकॉन सब्सट्रेट तक पहुँच जाती है। कोई इंतजार नहीं।
वास्तविक समस्या तो समय ही है।
डीप प्रोसेसिंग में, समय ही सबसे महत्वपूर्ण عنصर है। गर्म हवा के उपयोग में, पूरे चैंबर के गर्म होने में समय लगता है… और फिर उसके ठंडा होने में भी समय लगता है। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है।
आईआर लैंप अलग हैं… वे कुछ ही सेकंड में लक्षित तापमान तक पहुँच जाते हैं। रैपिड थर्मल प्रोसेसिंग में, ये कुछ ही सेकंड बहुत ही महत्वपूर्ण हैं। जैसे ही स्विच बंद हो जाता है, गर्मी तुरंत ही बंद हो जाती है… आपको ऐसी गर्म हवा से लड़ने की आवश्यकता ही नहीं है।
“कोल्ड स्पॉट” की समस्या भी है।
हम सभी ने ऐसा देखा है… 300 मिमी वाले वेफरों में, किनारे हमेशा ही ठीक तापमान पर नहीं होते। एयर कन्वेक्शन के कारण ही ऐसी समस्या होती है।
हम इस समस्या को आईआर सेंसरों के उपयोग से हल करते हैं… ये सेंसर वास्तविक समय में सतह का तापमान मापते हैं। यदि किनारे थोड़े ठंडे हैं, तो हम बाहरी लैंपों की तीव्रता बढ़ा देते हैं। यह एक बहुत ही सरल तरीका है… इससे वेफर में कोई विकृति नहीं होती, और डोपेंट का स्तर भी ठीक रहता है।
लेकिन यह सब इतना आसान नहीं है… कुछ तो नुकसान भी हैं।
आईआर हीटिंग में बहुत ही अधिक ऊर्जा खर्च होती है… इसलिए आपको अपने पावर सप्लाई पर ध्यान देना होगा। आपको PID ट्यूनिंग में भी बहुत ही सावधान रहना होगा।
यदि आपके सेंसरों में थोड़ी भी त्रुटि हो जाए, तो तापमान अनियंत्रित हो जाएगा… और आपका पूरा बैच बर्बाद हो जाएगा। यदि आप अपने सेंसरों पर भरोसा नहीं करते, तो यह बहुत ही चिंताजनक है।
आपको अपने लैंपों पर भी ध्यान देना होगा… जैसे-जैसे फिलामेंट घिस जाते हैं, गर्मी में भी व्यवधान आ जाता है। आप इसे ऐसे ही नहीं छोड़ सकते… आपको नियमित रूप से लैंपों की जाँच करनी होगी, ताकि आपका उत्पादन स्थिर रहे।