Mencuci dan Mengeringkan MEMS Menggunakan Sinar Infra Merah
Jika Anda pernah bekerja dengan sensor MEMS, pasti Anda tahu betapa merepotkannya proses pengeringan wafer tersebut. Sebuah bintik kecil akibat air atau kontaminasi ionik saja sudah cukup untuk membuat seluruh batch wafer menjadi tidak dapat digunakan lagi. Selama bertahun-tahun, kita menggunakan oven konveksi untuk mengeringkan wafer. Namun, sejujurnya, memanaskan seluruh ruangan hanya untuk mengeringkan satu wafer merupakan pemborosan energi yang sangat besar.
Itulah sebabnya kami beralih ke penggunaan lampu infraraja berfrekuensi tinggi. Alih-alih memanaskan udara, cahaya infraraja langsung menyinari permukaan wafer. Cara ini lebih efisien, dan tentu saja lebih ramah terhadap lingkungan.
Aspek teknisnya
Intinya, sinar infraraja bekerja melalui radiasi. Anda tidak perlu menunggu ruangan menjadi hangat; energi langsung mencapai targetnya. Namun, intensitas energi yang digunakan harus dikendalikan dengan tepat. Jika digunakan untuk wafer berukuran 300 mm, lampu tersebut perlu disetel dengan sempurna. Jika dayanya terlalu rendah, akan muncul garis-garis keringan yang mengganggu. Sebaliknya, jika dayanya terlalu tinggi, struktur MEMS bisa rusak. Ini merupakan tantangan yang perlu diatasi.
Peralatan yang digunakan
Untuk membuat hal ini berfungsi dengan baik, kami menggunakan kapsul kuarsa berkualitas tinggi. Kapsul ini mampu bertahan dari perubahan suhu yang drastis tanpa retak. Kami juga menggunakan filamen berisi halogen, karena filamen ini memiliki umur pakai yang lebih lama dan mampu menjaga keluaran cahaya yang stabil.
Untuk sambungan kabel, kami menggunakan konektor R7s atau SK15. Konektor ini pas dengan sempurna, sehingga tidak ada risiko arus listrik yang berlebihan. Hal ini memudahkan proses penggantian lampu saat perawatan diperlukan. Pada dasarnya, ini merupakan solusi pengganti yang mudah digunakan.
Kompromi yang harus diterima
Beralih ke penggunaan sinar infraraja merupakan langkah positif bagi tujuan “Pabrik Hijau”, karena waktu pemanasan dan konsumsi energi per wafer berkurang secara signifikan. Namun, ada satu masalah: semua energi tersebut menghasilkan panas yang banyak di dalam kotak alat tersebut. Jika kipas pendingin dan sistem pendinginan tidak bekerja dengan baik, kotak alat tersebut akan menjadi terlalu panas, sehingga lampu akan cepat rusak.
Ketika kabel dan sistem pendinginan sudah disetting dengan baik, semuanya akan berjalan lancar. Wafer dapat diproses lebih cepat, pemborosan energi berkurang, dan ukuran kotak alat pun berkurang. Pada akhirnya, kita rela mengorbankan sedikit intensitas energi awal demi menghemat biaya energi di masa depan.