Mengapa Kita Menggunakan Lampu IR dalam Proses Pencucian Semikonduktor
Beralih ke pendekatan yang lebih ramah lingkungan di pabrik semikonduktor bukan sekadar untuk memenuhi persyaratan hukum saja. Tujuannya adalah untuk menghilangkan zat-zat berbahaya seperti VOC dan mengurangi pemborosan energi. Itulah sebabnya kita beralih menggunakan lampu inframerah yang tahan air untuk proses pengeringan.
Cara kerjanya adalah dengan memancarkan radiasi gelombang pendek atau sedang yang langsung menembus lapisan cairan pada wafer. Hal ini membuat molekul-molekul air bergetar dan menguap secara instan. Prosesnya sangat cepat. Karena efek pemanasan yang terjadi sangat cepat, maka daya yang digunakan pun jauh lebih sedikit per wafer. Selain itu, tidak ada gas hasil pembakaran atau pelarut yang dihasilkan, sehingga ruang kerja menjadi lebih aman untuk ditinggali.
Mengatasi Masalah “Zona Basah”
Stasiun pencucian pada dasarnya merupakan area yang basah. Jika kita menggunakan tabung IR biasa di sana, tabung tersebut akan rusak begitu ada tetesan air yang mengenainya. Untuk mengatasi hal ini, kita menggunakan lampu yang memiliki selubung kuarsa khusus dan ujung yang tertutup rapi. Hal ini membantu melindungi elektroda dari kelembapan. Lampu tersebut dapat dipasang tepat di atas tangki pencucian, sehingga kita tidak perlu khawatir akan uap atau percikan air yang bisa merusak lampu tersebut.
Menemukan Keseimbangan yang Tepat
Namun, ada tantangan tersendiri. Lampu IR berdaya tinggi menghasilkan panas yang sangat besar. Panas tersebut memang bagus untuk mempercepat proses pengeringan, tetapi juga memberikan tekanan besar pada sistem pendinginan. Jika kecepatan konveyor terlalu lambat, wafer akan overheat atau fotoresistnya akan rusak. Kita perlu menemukan keseimbangan yang tepat antara daya lampu dan kecepatan konveyor, agar wafer tidak rusak.
Setelah menemukan keseimbangan yang tepat, kita tidak perlu lagi menggunakan alat pengering yang berukuran besar dan membutuhkan banyak energi. Dengan demikian, ruang kerja akan menjadi lebih efisien dan ramah lingkungan.