Perché utilizziamo l’oro all’interno dei rivestimenti dei nostri dispositivi di riscaldamento
Quando si riscalda un wafer di silicio, ogni singola unità di energia è fondamentale. Se il calore viene assorbito dalle pareti del rivestimento del dispositivo, invece di raggiungere il wafer stesso, in pratica si spreca energia e tempo.
Ecco perché utilizziamo una tecnologia riflettente rivestita d’oro all’interno dei rivestimenti in acciaio inossidabile. L’obiettivo è semplice: vogliamo che ogni singolo watt di radiazione infrarossa venga riflesso direttamente sul wafer.
I vantaggi dell’oro
L’acciaio inossidabile lucidato funziona bene, ma quando si tratta di radiazioni infrarosse a lunghe onde, presenta delle limitazioni. L’oro, invece, riesce a riflettere oltre il 98% di quell’energia. Rivestendo l’interno del dispositivo con l’oro, trasformiamo il rivestimento in uno specchio. In questo modo, l’energia non viene assorbita dalle pareti, ma rimbalza direttamente verso il wafer.
Per garantire durata nel tempo
Partiamo da acciaio inossidabile di alta qualità. Perché? Perché questi dispositivi devono resistere a intense sollecitazioni termiche, e non possiamo permettere che il rivestimento si deformi. Per applicare l’oro sul rivestimento, utilizziamo la tecnica della deposizione sotto vuoto: è un processo preciso che garantisce che il rivestimento rimanga intatto. Non si verificheranno quindi problemi legati all’usura del rivestimento.
La sfida: la geometria
La geometria del rivestimento è molto importante: anche un piccolo errore può causare zone particolarmente calde, il che rappresenta un problema per la qualità del wafer. Per evitare questo, calcoliamo con precisione la lunghezza focale in base alla potenza emessa dalla lampada, in modo che il calore venga distribuito uniformemente su tutto il wafer.
Lo svantaggio
L’oro è un ottimo riflettore, ma è anche materiale fragile. Se il processo di produzione utilizza gas corrosivi o particelle abrasive, il rivestimento può danneggiarsi nel tempo. Una volta che compaiono dei buchi, l’efficienza del dispositivo diminuisce. È quindi necessario mantenere le superfici sempre pulite e lucide. Altrimenti, sarà necessario aumentare la potenza del dispositivo per compensare la perdita di energia.