PECVD加熱用赤外線放射体

ファブ内では、フォトレジストの焼成やウェーハの乾燥時に生じる熱的なドリフトは、単に生産性を低下させるだけでなく、ウェーハの寸法精度を乱し、歩留まりを悪化させます。そのため、迅速かつ安定した加熱が求められ、また、シフトごとにもその状態が維持される必要があります。 当社のPECVD用加熱用赤外線エミッ...