ウェーハ処理装置用温度センサー

揮発性化学物質の近くで赤外線ヒーターを使用する際の安全対策 ウェーハ処理において化学洗浄を行うとき、通常は熱に弱い溶剤が使われます。これらの溶剤は可燃性があり、場合によっては爆発性もあります。高温の赤外線ランプをその中に入れるのは、まさにトラブルを招く行為です。 重要なのは、ランプ自体を「より安全...