왜 히터 케이스 내부에 금을 사용하는가?
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 모든 에너지가 중요합니다. 만약 그 열이 웨이퍼에 도달하지 못하고 히터 케이스의 벽면으로 스며들어간다면, 결국 에너지와 시간을 낭비하는 셈입니다.
그래서 우리는 스테인리스 스틸로 된 히터 케이스 내부에 금으로 코팅된 반사체를 사용하는 것입니다. 목표는 간단합니다. 적외선 에너지의 모든 부분이 다시 웨이퍼로 반사되도록 하는 것입니다.
금의 장점
광택 처리된 스테인리스 스틸도 괜찮은 성능을 보입니다. 하지만 장파장 적외선 영역에서는 성능이 떨어집니다. 반면 금은 그 에너지의 98% 이상을 반사해냅니다. 따라서 내부를 금으로 코팅함으로써 히터 케이스를 거울처럼 만들 수 있습니다. 그렇게 되면 열이 케이스의 벽면에 흡수되어 클린룸의 온도가 상승하는 것을 막을 수 있으며, 에너지는 그대로 웨이퍼로 반사됩니다.
내구성을 위한 설계
우리는 고품질의 스테인리스 스틸을 사용합니다. 왜냐하면 이 장비들은 극심한 온도 변화를 겪기 때문에, 케이스가 변형되어서는 안 됩니다. 금 코팅을 위해서는 진공 증착 방식을 사용합니다. 이 방식을 통해 코팅이 제자리에 유지됩니다. 시스템의 온도가 상승해도 코팅이 벗겨지거나 손상되는 일은 없습니다.
문제점
금은 훌륭한 반사체이지만, 너무 부드러운 재질입니다. 만약 가공 과정에서 부식성 가스나 마모성 입자가 사용된다면, 코팅에 손상이 생길 수 있습니다. 그러면 효율성이 떨어집니다. 그러므로 표면을 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 그렇지 않으면 에너지 손실을 보충하기 위해 더 많은 전력을 사용해야 할 것입니다.