바이오 센서 제작용 적외선 램프

웨이퍼 처리 공정에서는 생체센서의 작동에 있어 열 변동이 허용되지 않습니다. 포토레지스트를 가열하는 과정에서 단 0.5도만의 온도 변화라도 선의 굵기를 변화시키거나 감도에 영향을 미쳐 공정을 망칠 수 있습니다. 저희는 이러한 열 변동을 최소화하기 위해 적외선 램프를...