PID 제어 반도체 히터

라인에서는 온도가 단순한 배경 조절기가 아니라 공정을 구동하는 핵심 요소다. 포토레지스트 소프트 베이크 중 몇 도만 차이가 나도 중요 치수(CD) 목표가 벗어날 수 있다. 웨이퍼 건조 시 차가운 곳이 생기면 스핀, 베이크, 에칭을 거쳐도 남아있는 워터 마크가 생길 수...