Mengapa kita gunakan emas di dalam penutup pemanas tersebut
Ketika kita memanaskan wafer silikon, setiap sedikit tenaga yang digunakan sangat penting. Jika haba tersebut diserap oleh dinding penutup pemanas tersebut, bukannya sampai ke wafer, maka tenaga dan masa yang digunakan akan terbuang sia-sia.
Itulah sebabnya kita menggunakan teknologi reflektif berlapis emas di dalam penutup pemanas yang diperbuat daripada keluli tahan karat. Tujuannya mudah saja: kita ingin agar setiap watt radiasi inframerah dipantulkan kembali ke wafer.
Kelebihan penggunaan emas
Keluli tahan karat yang telah dipolis boleh berfungsi dengan baik. Namun, apabila berhadapan dengan spektrum inframerah gelombang panjang, ia akan mengalami kesukaran untuk memantulkan cahaya tersebut. Emas pula berbeza; ia mampu memantulkan lebih daripada 98% daripada tenaga tersebut. Dengan melapisi bahagian dalam penutup pemanas dengan emas, kita dapat menjadikan penutup tersebut sebagai cermin. Dengan cara ini, haba tidak akan diserap oleh dinding penutup pemanas, sebaliknya ia akan dipantulkan kembali ke wafer.
Membina penutup pemanas yang tahan lama
Kita menggunakan keluli tahan karat berkualiti tinggi. Mengapa? Kerana penutup pemanas ini akan terdedah kepada tekanan haba yang ekstrem, dan kita tidak mahu penutup tersebut bengkok. Untuk meletakkan lapisan emas pada permukaan penutup pemanas, kita menggunakan kaedah deposisi vakum. Kaedah ini memastikan lapisan emas tetap kukuh. Anda tidak akan melihat lapisan emas tersebut terkelupas atau rosak walaupun suhu sistem meningkat.
Namun, ada masalahnya: bentuk penutup pemanas tersebut perlu tepat sekali. Jika lengkung penutup pemanas tidak tepat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Ini tentu saja akan merosakkan kualiti wafer. Kita perlu memastikan jarak fokus sesuai dengan output lampu yang digunakan, agar haba dapat tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer.
Kelemahan penggunaan emas
Emas merupakan bahan reflektor yang sangat baik, namun ia juga lembut. Jika proses pemprosesan menggunakan gas korosif atau zarah-zarah abrasif, lapisan emas boleh rosak dari masa ke masa. Apabila lubang-lubang kecil muncul pada lapisan emas tersebut, kecekapan pemanasan akan menurun. Anda perlu sentiasa membersihkan permukaan penutup pemanas tersebut agar ia tetap bersih. Jika tidak, anda perlu meningkatkan kuasa pemanasan untuk menggantikan tenaga yang hilang.