Mengapa Kita Menggunakan Lampu Inframerah dalam Proses Pembersihan Semikonduktor
Menjadikan proses pengeluaran semikonduktor lebih mesra alam bukan sekadar memenuhi syarat-syarat tertentu. Ia bermaksud menghilangkan bahan berbahaya seperti VOC dan mengurangkan pembaziran tenaga yang banyak. Itulah sebabnya kita menggunakan lampu inframerah yang tahan air untuk tujuan pengeringan.
Cara kerjanya adalah seperti berikut: Berbeza dengan kaedah pengeringan menggunakan udara panas, lampu inframerah hanya memanaskan permukaan wafer sahaja. Ini membolehkan proses pengeringan berlaku dengan lebih cepat.
Mengurangkan Pembaziran Tenaga
Kaedah pengeringan menggunakan udara panas memerlukan tenaga yang banyak. Anda perlu mengeluarkan kos yang tinggi untuk mengekalkan suhu di sekeliling pada tahap yang sesuai. Sebaliknya, lampu inframerah mengeluarkan gelombang radiasi pendek atau sederhana yang dapat menembusi lapisan cecair pada permukaan wafer, lalu menyebabkan molekul air bergetar dan menguap dengan cepat.
Mengatasi Masalah Zon Basah
Stesen pembersihan sememangnya merupakan kawasan yang basah. Jika kita gunakan lampu inframerah biasa, ia akan rosak apabila terkena titisan air. Untuk mengatasi masalah ini, kita menggunakan lampu yang dilengkapi dengan lapisan kuarsa khusus dan penutup yang rapat. Ini membantu melindungi elektrod daripada kelembapan. Lampu tersebut boleh dipasang tepat di atas tangki pembersihan, sehingga tidak perlu risau tentang wap atau percikan air yang boleh merosakkan peralatan.
Mencari Keseimbangan yang Tepat
Namun, ada satu masalah: lampu inframerah berkuasa tinggi menghasilkan haba yang sangat tinggi. Walaupun ini memudahkan proses pengeringan, ia juga memberi tekanan yang besar pada sistem penyejukan. Jika kelajuan konveyor terlalu perlahan, wafer akan terlalu panas atau fotorezistan akan rosak. Oleh itu, kita perlu mencari keseimbangan antara kuasa lampu dan kelajuan konveyor agar wafer tidak rosak.
Setelah mencapai keseimbangan yang tepat, kita tidak perlu lagi menggunakan kaedah pengeringan yang memerlukan tenaga yang banyak. Dengan cara ini, ruang yang diperlukan untuk proses pengeringan menjadi lebih kecil, dan proses pengeluaran juga menjadi lebih mesra alam.