Op de waferproductielijn biedt het gebruik van biossenoren geen ruimte voor thermische afwijkingen. Een verschil van een halve graad tijdens het verhitten van de fotoresist kan leiden tot afwijkingen in de breedte van de lijnen, waardoor de gevoeligheid van de sensoren wordt beïnvloed en het proces kan mislukken. We hebben onze infraroodlampen zo ontworpen dat ze deze thermische condities uur na uur kunnen behouden.
Wat er echt toe doet, is eenvoudig: we gebruiken kortegolfinfraroodemitters met kwartsomhulsels. Hierdoor wordt de hitte snel overgedragen en blijft alles schoon. Op het oppervlak van de wafer is de uniformiteit van de temperatuur ±0,1°C, zoals bevestigd door in-situ meting. De herhaalbaarheid van het proces ligt binnen ±0,2°C, zodat de parameters van het proces niet gaan wijzen. De lampen bevinden zich in schone kamers van klasse 1–100; er worden geen deeltjes gegenereerd tijdens het gebruik. De prestaties blijven binnen 1% gedurende meer dan 5.000 uur, en de thermische reactietijd is minder dan 2 seconden – voldoende snel om het proces nauwkeurig te kunnen regelen.
Biossenoren maken gebruik van dunne vlakken en gevoelige chemische stoffen die niet bestand zijn tegen hoge temperaturen of restanten van oplosmiddelen. Met infraroodverwarming worden de wafers rechtstreeks verhit, zodat er minder thermische vertragingen zijn en de controle over het proces verbetert. Het resultaat is een hogere productiekwaliteit, minder herwerkingspogingen en betrouwbare controle over de kwaliteit van de producten. De energieverbruik neemt af, omdat de hitte alleen wordt gegenereerd wanneer dit nodig is. Bovendien leidt de betrouwbaarheid tot minder onverwachte stilstanden – precies wat nodig is wanneer de productielijn optimaal werkt.
Een paar praktische tips: de lamp heeft een aparte voedingsbron en een gesloten-luspyrometer nodig om de gewenste temperatuur vast te houden. De lamp past gemakkelijk op standaardrails, maar op oudere apparaten kan het nodig zijn om de bevestigingsmogelijkheden aan te passen. Zorg ervoor dat de kabels op de juiste manier worden geplaatst, zodat de luchtcirculatie goed blijft en er geen deeltjes binnendringen. Met goed gealigneerde en gecalibreerde apparaten is het systeem vanaf dag één klaar voor gebruik.