Op de productielijn is een chip die net uit het spoelproces komt nog lang niet klaar. Watervlekken, microdeeltjes en thermische spanningen die ontstaan tijdens het drogen kunnen de kwaliteit van de chip al in een vroeg stadium beschadigen, nog voordat de chip verder kan worden verwerkt. De echte uitdaging is niet alleen om het water weg te halen, maar ook om dit te doen met volledige controle over het oppervlak en de warmtestroom.
Wat technisch gezien belangrijk is:
Wij maken gebruik van een systeem dat energie op een gecontroleerde en snelle manier levert. Het systeem houdt de temperatuur op het oppervlak van de chip op een niveau van ±0,1°C. Hierdoor blijven er geen hete of koude plekken over, waardoor er geen problemen kunnen ontstaan met de fotoresist of andere materialen. De verwarmers maken gebruik van kortegolf- en middengolfinfraroodlicht, samen met kwartscomponenten en koolstofvezels. Dit zorgt voor een snelle opwarming en een stabiele temperatuur. Hierdoor blijft er tijdens het drogen geen schadelijke stof achter, wat belangrijk is om binnen de normen van een schone ruimte van klasse 1–100 te blijven. Hierdoor krijg je elke keer een reproduceerbaar resultaat: een constante contacthoek en een oppervlak zonder restanten.
Waarom dit past in het proces:
Na het reinigen moet de chip direct verder worden verwerkt, zonder enige vorm van vervuiling – en zonder thermische effecten die negatief kunnen zijn voor de kwaliteit van de chip. Ons droogproces past zich gemakkelijk aan verschillende systemen aan. Hierdoor blijven de temperaturen constant en reproduceerbaar. Je hebt hierdoor voorspelbare cyclustijden, minder afval door watervlekken en deeltjes, en een constante werking. Omdat de temperatuurregeling snel en nauwkeurig is, blijft de energieverbruik ook laag – zonder dat dit ten koste gaat van de productiesnelheid.
De praktische details:
Tijdens de installatie moet je de luchtafvoer en de gasstroom van de kamer afstemmen op de vermogensbehoeften van de verwarmers, zodat de gewenste temperatuur behouden blijft onder belasting. De interfaces voldoen aan de SEMI-standaarden, maar je moet toch de thermische massa van het apparaat afstemmen op het gewenste profiel, om overtollige warmte te voorkomen. Plan een korte testperiode in om de opwarmtijd en de tijd die nodig is voor het drogen af te stemmen op jouw specifieke behoeften.