Por que usamos lâmpadas de infravermelho em linhas de enxágue de semicondutores
Ser “verde” em fábricas de semicondutores não significa apenas cumprir requisitos legais. Trata-se de eliminar substâncias tóxicas e reduzir o consumo excessivo de energia. É por isso que passamos a usar lâmpadas de infravermelho à prova d’água para secagem dos semicondutores.
A vantagem dessas lâmpadas é que, em vez de aquecer o ar e todo o ambiente como um forno gigante, elas atuam diretamente sobre a bolacha semicondutora. É uma abordagem mais eficiente.
Redução do desperdício de energia
O método tradicional de secagem por ar quente consome muita energia. É preciso gastar muito dinheiro apenas para manter a temperatura do ambiente elevada. Já as lâmpadas de infravermelho funcionam de maneira diferente: elas emitem radiação de onda curta ou média, que penetra na camada líquida presente na superfície da bolacha semicondutora, fazendo com que as moléculas de água vibrem e evaporem quase instantaneamente.
É rápido. Muito rápido.
Como a secagem acontece rapidamente, não é necessário utilizar tanta energia por cada bolacha. Além disso, não há gases de combustão ou solventes envolvidos, o que torna o ambiente de trabalho muito mais saudável.
Lidando com a “zona úmida”
As estações de enxágue são, por definição, áreas úmidas. Se se usar uma lâmpada de infravermelho comum nessas áreas, ela queimará ou se danificará assim que uma gota de água atingi-la. O choque térmico é um grande problema.
Para resolver isso, usamos lâmpadas com invólucros de quartzo especializados e capsulamentos selados. Isso impede que a umidade chegue aos elétrodos das lâmpadas. Elas podem ser instaladas diretamente sobre os tanques de enxágue, sem que haja necessidade de se preocupar com vapor ou respingos que possam causar danos às lâmpadas.
O equilíbrio certo
Porém, existe um problema: as lâmpadas de infravermelho de alta potência geram muito calor. Essa alta densidade de calor é ótima para acelerar o processo de secagem, mas exerce grande pressão sobre o sistema de resfriamento. Se a esteira transportadora for muito lenta, a bolacha semicondutora vai superaquecer ou o fotoresisto será danificado. É preciso encontrar o equilíbrio certo entre a potência da lâmpada e a velocidade da esteira, para evitar danos à peça.
Quando esse equilíbrio é alcançado, não é mais necessário usar aqueles túneis de secagem volumosos e consumidores de energia. Assim, obtemos um sistema menor e que realmente respeita o meio ambiente.