На линии производства пластинок биосенсоры не могут позволить себе никаких тепловых отклонений. Даже небольшое изменение температуры во время обработки фотополимера может привести к изменению ширины линий на пластинке, снижению чувствительности биосенсора и даже к срыву всего процесса. Мы разработали инфракрасные лампы, способные сохранять стабильную температуру в течение часов.
Самое главное – это стабильность температуры. Мы используем инфракрасные излучатели с кварцевыми оболочками; это позволяет быстро передавать тепло и сохранять чистоту поверхности пластинки. Равномерность температуры на поверхности пластинки составляет ±0,1°C, что подтверждается данными датчиков в реальном времени. Повторяемость результатов при каждом цикле обработки также составляет ±0,2°C, что гарантирует стабильность процесса. Лампы работают в чистых комнатах класса 1–100; количество частиц в воздухе во время работы равно нулю. Эффективность работы ламп сохраняется на уровне 1% в течение 5 000+ часов, а время реакции на изменения температуры составляет менее 2 секунд – это достаточно быстро для точного контроля процесса.
Биосенсоры основаны на тонких пленках и чувствительных химических веществах, которые не могут выдерживать высокие температуры или остатки растворителей. С использованием инфракрасного излучения пластинка нагревается напрямую, а не вся камера, что снижает тепловые задержки и повышает точность литографии. В результате повышается процент готовой продукции при первой же попытке обработки, сокращается количество необходимых корректировок, а контроль точности изготовления становится более точным. Энергопотребление снижается, поскольку тепло выделяется по мере необходимости, без лишнего нагрева камеры. Надежность системы означает меньше неplanовых остановок – что крайне важно, когда линия производства работает с высокой скоростью.
Есть еще несколько важных моментов. Лампам требуется отдельный источник питания и система контроля температуры. Лампы можно установить на стандартные платформы, но на устаревших устройствах может потребоваться небольшая корректировка креплений. Необходимо правильно расположить кабели в чистой комнате, чтобы воздушный поток был правильным, а частицы не попадали внутрь. При правильной настройке система с первого дня будет работать с оптимальными параметрами температуры.