Очистка МЭМС-датчиков с использованием инфракрасного излучения
Если вы когда-либо работали с МЭМС-датчиками, то знаете, насколько сложна процедура сушки пластин. Даже небольшое количество воды или ионных примесей может сделать всю партию бракованной. Годами мы использовали конвекционные печи, но, честно говоря, нагрев всей камеры только для сушки одной пластины — это огромная трата энергии.
Поэтому мы перешли на использование ламп с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо нагрева воздуха энергия направляется напрямую на поверхность пластины. Это более эффективный способ, а также полезно для окружающей среды.
Принцип действия
Секрет заключается в том, что инфракрасное излучение действует через излучение. Не нужно ждать, пока комната нагреется — энергия сразу достигает цели. Но необходимо правильно настроить мощность излучения. Если речь идет о пластинах размером 300 мм, то лампы должны быть точно настроены. Если мощность слишком низкая, появятся нежелательные следы от сушки. Если мощность слишком высока, это может повредить саму структуру МЭМС-датчика. Это требует тщательной настройки.
Оборудование
Для эффективной работы мы используем корпуса из высокочистого кварца. Они выдерживают резкие перепады температур без поломок. Также мы используем филаменты с галогеном — они работают дольше и обеспечивают стабильную яркость света.
Что касается разъемов, мы используем R7s или SK15. Они плотно прилегают друг к другу, что предотвращает возникновение проблем с электрическими импульсами и упрощает замену ламп во время технического обслуживания. Это позволяет использовать лампы в качестве замены без каких-либо проблем.
Реальные преимущества
Переход на инфракрасное излучение способствует достижению целей «зеленого производства», так как сокращается время нагрева и общее потребление энергии на единицу продукции. Но есть и недостатки: вся эта энергия создает большое количество тепла внутри корпуса оборудования. Если системы охлаждения не справляются со своей задачей, корпус перегреется, и лампы сгорят гораздо быстрее, чем следует.
Когда все элементы подключены правильно, все работает без проблем. Пластины обрабатываются быстрее, не тратится лишняя энергия, а размер оборудования сокращается. По сути, мы отдаем немного начальной мощности в обмен на значительную экономию энергии в долгосрочной перспективе.