Перестаньте позволять неисправностям ламп разрушать вашу производительность
На производстве с высокой загрузкой неисправность лампы представляет собой настоящий кошмар. Речь идет не только о простое простое оборудования. Когда кварцевая оболочка лампы разрушается, осколки стекла и химикаты попадают прямо на Waferы. Это означает, что их приходится выбрасывать, а также потратить много времени на очистку оборудования.
Мы нашли лучший способ: достаточно поместить кварцевый экран между нагревательным элементом и поверхностью Waferа. Это просто, но эффективно.
Почему кварц?
Мы используем высокочистый фusing-кварц, потому что он выдерживает значительные нагрузки. Он не разрушается при резком изменении температуры, поэтому нет необходимости беспокоиться о возможном разрушении самого экрана во время работы лампы. Можно считать это своего рода страховкой: если лампа взрывается из-за скачка напряжения или теплового удара, экран задерживает осколки. Таким образом, Waferы остаются чистыми.
Компромиссы
Честно говоря, добавление слоя стекла приводит к небольшому снижению проникновения инфракрасного излучения. Вы не получаете 100% тепла, как при использовании обычной лампы. Но это небольшая цена за сохранение чистоты Waferов. Возможно, потребуется немного скорректировать параметры работы лампы. Вы можете увеличить мощность лампы или подвинуть её ближе к Waferу, чтобы достичь нужной температуры. Не забудьте проверить настройки PID после установки экранов, чтобы не превысить заданные параметры температуры.
Поддержание работы оборудования
Эти экраны можно использовать вместо стандартных ламп. Они соответствуют стандартным размерам, поэтому не требуется вносить изменений в конструкцию оборудования. Со временем стекло может стать „тусклым“ из-за накопления загрязнений. В этом случае распределение тепла становится неравномерным, так как инфракрасное излучение не может проникать через стекло. Решение просто: достаточно протереть поверхность стекла специальным растворительом. Ещё один совет: поддерживайте стабильность напряжения. Изменения напряжения создают дополнительную нагрузку на нить нагревателя, что и приводит к её разрушению. Экран помогает избежать этого, но стабильное напряжение позволяет экрану выполнять свою функцию без проблем.