การรักษาความปลอดภัยขณะใช้ความร้อนกับสารเคมีที่ไวต่อความร้อน
พูดตามตรงนะครับ การใช้ความร้อนเพื่อทำความสะอาดชิป semiconductor นั้นเป็นงานที่น่ากังวลมาก เพราะเราต้องรับมือกับสารเคมีที่อาจลุกเป็นไฟหรือระเบิดได้ ดังนั้น หลอดอินฟราเรดธรรมดาๆ จึงไม่ใช่เพียงเครื่องมือธรรมดาๆ เท่านั้น แต่ยังเป็นสาเหตุของความเสี่ยงอีกด้วย
นั่นคือเหตุผลที่เราไม่ได้สร้างระบบการให้ความร้อนแบบธรรมดาๆ เท่านั้น แต่เรายังห่อหุ้มระบบเหล่านั้นไว้ด้วยฝาป้องกัน เพื่อให้แน่ใจว่าไอระเหยอันตรายเหล่านั้นจะไม่เข้าถึงชิ้นส่วนที่อาจก่อให้เกิดอันตรายได้เลย
การป้องกันสารเคมีอันตราย
ศัตรูตัวฉกาจที่นี่ก็คือการรั่วไหลของสารเคมี สารอินทรีย์ที่ไวต่อความร้อนมักจะแทรกซึมเข้าไปในตัวหลอดได้ ดังนั้น เราจึงใช้กระจกควอตซ์และซีลความร้อนสูงเพื่อป้องกันไม่ให้ไส้หลอดถูกสัมผัสกับสารเคมีเหล่านั้น
นอกจากนี้ เรายังใช้เอป็อกซี่และแผ่นรองที่มีคุณภาพสูง เพื่อป้องกันไม่ให้สารเคมีกัดกร่อนวัสดุที่ใช้ป้องกันการลุกไหม้ ซึ่งจะช่วยป้องกันไม่ให้เกิดสถานการณ์เลวร้ายที่สารเคมีกัดกร่อนวัสดุป้องกันไฟฟ้าจนทำให้ระบบทั้งหมดล้มเหลวได้
การควบคุมอุณหภูมิอย่างมีประสิทธิภาพ
ความเสถียรคือสิ่งสำคัญที่สุด เราใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดคลื่นสั้น เพราะจะช่วยส่งพลังงานไปยังของเหลวโดยตรง โดยไม่สูญเสียเวลาในการให้ความร้อนกับอากาศรอบๆ ดังนั้น ความเสี่ยงที่จะทำให้สารเคมีลุกเป็นไฟก็จะลดลงมาก
นอกจากนี้ เรายังมีตัวควบคุมอุณหภูมิที่มีความแม่นยำ เพื่อไม่ให้อุณหภูมิสูงขึ้นอย่างกะทันหัน อย่าลืมตรวจสอบระบบระบายอากาศให้ดีด้วย หากไม่มีการระบายไอระเหยออกมา ความร้อนก็จะสะสมจนทำลายซีลป้องกันได้
การติดตั้งและการดูแลรักษา
เราออกแบบอุปกรณ์เหล่านี้ให้สามารถใช้แทนอุปกรณ์เดิมได้ทันที โดยไม่มีปัญหาใดๆ นอกจากนี้ เรายังใช้ท่อไฟฟ้าที่ปลอดภัยจากการระเบิด เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดประกายไฟขณะใช้งาน
อุปกรณ์เหล่านี้ต้องอยู่ในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง ตามกาลเวลา จะมีฟิล์มเกิดขึ้นบนท่อควอตซ์ ซึ่งเป็นเรื่องปกติ แต่ควรล้างทำความสะอาดด้วยแอลกอฮอล์อิโซพรอพิลเป็นครั้งคราว เพื่อให้ความร้อนสามารถไหลเวียนได้อย่างมีประสิทธิภาพ
อีกอย่างหนึ่ง ควรตรวจสอบแผ่นรองซีลทุกๆ สามเดือน หากซีลเสียหาย หลอดไฟก็จะหยุดทำงานทันที การตรวจสอบเป็นระยะๆ จะดีกว่าการต้องรับมือกับปัญหาที่ไม่คาดคิดในภายหลัง