Üretim alanlarında, termal değişimler, her zaman görülemeyen, ancak üretim verimliliğini düşüren faktörlerdir. Fotoresistin yumuşak pişirilmesi sırasında 0,5°C’lik bir sıcaklık değişimi bile CD’lerin şeklini bozar. Temizleme işlemlerinden sonra nem kalırsa, mikro köprüler oluşur. Paketleme aşamasında ise eşit olmayan sıcaklık dağılımları ürünlerin şeklini ve güvenilirliğini etkiler. Kontrol edilebilir bir sıcaklık ortamına ihtiyaç vardır; bu da odadaki atmosferin sizin belirlediğiniz seviyede olmasını sağlar.
Teknik açıdan önemli olan hususlar
Kontrollü atmosferde pişirme işlemleri için, tekrarlanabilir sıcaklık değerleri ve temiz bir çalışma ortamı gereklidir. Kısa dalga boylu halojen elemanlar, hızlı ve hassas ısıtma sağlar; böylece waferlerin sıcaklık değerleri ±0,1°C aralığında sabit kalır. Kuvars yapıları ve düşük gaz salınımı yapan donanımlar, parçacık oluşumunu sıfıra indirerek temiz oda koşullarının korunmasını sağlar. Sistem, azot veya kuru hava ile çalışarak nem ve oksijenin içeri girmesini engeller. Entegre geri bildirim mekanizması sayesinde her seferinde aynı termal profil elde edilir ve parti bazında kontrol yapılabilir.
Neden bu sistem işe yarar?
Bu lamba, sürecin hassasiyetinin önemli olduğu her yerde kullanılabilir: Temizleme sonrası waferlerin kurutulması, litografi öncesinde fotoresistin yumuşak ve sert pişirilmesi, ayrıca kalıp malzemelerinin ve dolgu maddelerinin pişirilmesi gibi işlemlerde kullanılır. Daha kısa pişirme süreleri, daha düşük enerji tüketimi ve kenar bölgelerindeki sorunlar nedeniyle daha az atık wafer elde edilir. Pişirme eğrisi istenen şekilde olduğundan süreç daha verimli işler. İstikrarlı atmosfer kontrolü aynı zamanda yüzey oksidasyonunu ve kirlenmeyi azaltır; böylece yapışma ve üretim verimliliği artar.
Planlanması gereken pratik detaylar
Montaj sırasında cihazın gaz tahliye ve emiş sistemleri uyumlu hale getirilmelidir. Ayrıca lamba, substrata etki edebilecek titreşimlerden izole edilmelidir. Lamba değiştirildikten sonra, eşitlik kalibrasyonunun tamamlanması için kısa bir ısınma süresi gereklidir. Planlanmayan arızaları önlemek için bakım işlemleri lambanın ömrü bittiğinde yapılmalıdır. Ayrıca gaz tedarikinizin süreç için gerekli olan nem derecesine uygun olduğundan emin olunmalıdır.