MEMS Sensörlerinin Kuru Temizlenmesi İçin Kızılötesi Teknolojisi
Eğer daha önce MEMS sensörleriyle çalıştıysanız, waferlerin kurutulmasının ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Küçük bir su lekesi veya az miktarda iyonik kirlilik bile tüm ürünlerin boşa gitmesine neden olur. Yıllardır konveksiyon fırınları kullanıyoruz; ancak dürüst olmak gerekirse, sadece bir wafer’ı kurutmak için tüm fırını ısıtmak büyük bir enerji israfıdır.
İşte bu yüzden kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanmaya başladık. Havanın ısınmasını beklemek yerine, enerji doğrudan wafer’in yüzeyine veriliyor. Bu yöntem daha verimli ve gezegen için de daha iyi bir çözümdür.
Isı Üretimi
İşin püf noktası şu: Kızılötesi ışınlar radyasyon yoluyla etki eder. Oda sıcaklığının artmasını beklemek zorunda değilsiniz; enerji doğrudan hedefe ulaşır. Ancak güç yoğunluğunu doğru ayarlamanız gerekiyor. Eğer 300 mm boyutundaki wafer’lar kullanılıyorsa, lamba diziliminin mükemmel şekilde ayarlanması şarttır. Güç seviyesi çok düşükse, kurutma işlemi sorunsuz gerçekleşmez. Çok yüksekse ise MEMS yapıları zarar görebilir. Bu yüzden dengeli bir ayarlama yapmak önemlidir.
Kullandığımız Donanımlar
Bunu sağlamak için yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanıyoruz. Bu malzemeler hızlı ısıtma ve soğutma işlemlerine dayanabilir. Ayrıca halojen dolgulu filamentler de kullanıyoruz; çünkü bunlar daha uzun süre dayanır ve ışık çıkışını sabit tutar. Donanım açısından ise R7s veya SK15 konektörlerini kullanıyoruz. Bunlar sıkıca oturduğu için tehlikeli durumlar ortaya çıkmaz ve bakım sırasında lambaların değiştirilmesi çok daha kolay olur.
Gerçek Dünyadaki Avantajlar ve Dezavantajlar
Kızılötesi teknolojisine geçmek, “Yeşil Fabrika” hedefleri açısından avantajlıdır; çünkü ısınma süresi ve her wafer için harcanan enerji miktarı azalır. Ancak bir dezavantaj da vardır: Tüm bu enerji, cihazın içinde çok fazla ısı oluşturur. Eğer soğutma fanları ve ısı değiştiriciler yeterli değilse, cihaz aşırı ısınır ve lambalar beklenenden daha hızlı yanar. Kablolar ve soğutma sistemleri düzgün ayarlandığında her şey yoluna girer. Wafer’lar daha hızlı işlenir, enerji israfı sona erer ve enerji tüketimi de azalır. Aslında başlangıçta biraz daha yüksek güç yoğunluğu kullanılır, ancak sonuçta çok daha düşük bir enerji faturası ödenir.