Üretim alanında, foto dirençlerin pişirilmesi veya waferlerin kurutulması sırasında meydana gelen termal değişiklikler, sadece üretim hızını düşürmekle kalmaz; aynı zamanda parçaların boyutlarını da değiştirir ve verimliliği olumsuz etkiler. Hızlı bir şekilde ısı sağlayan, sabit kalabilen ve sürekli temiz kalan bir ısı kaynağına ihtiyaç vardır.
PECVD ısıtma sistemlerimiz, anında termal tepki vermek için kısa dalga enerjisi kullanır ve işlem sırasında wafer üzerindeki sıcaklık farkı ±0,1°C civarındadır. Kuvars kaplamalar ve özel tasarlanmış filamentler sayesinde partikül oluşumu engellenir; böylece temiz oda koşulları korunur. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla bir süre boyunca sabit kalır ve yoğunluk değişimi %5’in altındadır; bu sayede termal parametreler tekrarlanabilir kalır. Bu sistem, mevcut PECVD ve termal işlem modüllerine kolayca entegre edilebilir; standart voltaj seçenekleri ve kompakt yapı sayesinde ekipmanların yerleşimine engel olmaz.
Waferlerin kurutulması ve temizlenmesinde, bu ısıtıcılar termal gecikme olmadan desorpsiyon işlemini gerçekleştirir; böylece döngü süresi azalırken wafer yüzeyindeki nem de kontrol altına alınır. Litografide ise sıcaklık kontrolü sayesinde hem yumuşak hem de sert pişirme işlemleri sorunsuz bir şekilde gerçekleştirilir; bu da foto dirençlerin kalitesini ve CD’nin tutarlılığını artırır. Paketleme aşamasında ise kaplama maddelerinin hızlı ve eşit bir şekilde kurumasını sağlar; böylece fırında kalma süresi kısalarak yapışma kalitesi bozulmaz.
Enerji tasarruflu sürücü elemanları sayesinde, dirençli ısıtıcılara kıyasla enerji tüketimi azalır. Ayrıca, işlem gazlarına maruz kalmayan sıcak filamentler olduğundan bakım aralıkları uzar.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gereken noktalar şunlardır: Maksimum performans elde edilmek için yansıtıcı geometrisi ile ekipmanın termal kontrol sistemi uyumlu olmalıdır; yaygın odalar için kalibrasyon haritaları sağlıyoruz. Orta dalga profillerinden kısa dalga profillerine geçildiğinde, istenen sıcaklığa ulaşmak için biraz daha fazla zaman gerekebilir; bu yüzden sensörlerin yerleştirilmesinin bizim sağladığımız termal profille uyumlu olmasına dikkat edin. Ayrıca, pencere arayüzünde yoğuşmanın oluşmaması için gaz hatlarının uyumluluğunu kontrol edin.