Yarı iletkenlerin yıkanma süreçlerinde neden IR lambaları kullanılır?
Yarı iletken üretim tesislerinde “yeşil” bir yapıya geçmek sadece belirli standartlara uymak anlamına gelmez. Asıl amaç, zararlı VOC’leri ortadan kaldırmak ve aşırı enerji tüketimini engellemektir. İşte bu yüzden kurutma işlemleri için su geçirmez IR lambalarını kullanıyoruz.
Enerji tasarrufu sağlama
Geleneksel sıcak hava ile kurutma yöntemi oldukça fazla enerji tüketir. Ortam sıcaklığını korumak için büyük miktarda enerji harcanır. IR lambalar ise farklı şekilde çalışır; kısa veya orta dalga boylarında radyasyon yayarak wafer üzerindeki sıvı tabakasının içine nüfuz eder ve böylece su moleküllerinin hızla titreşip buharlaşmasını sağlar. Bu işlem çok hızlıdır.
“Islak bölge” sorununu çözme
Yıkanma istasyonları doğası gereği ıslaktır. Eğer buraya standart bir IR lambası konulursa, üzerine bir damla su düştüğünde lamba zarar görür. Termal şok, ciddi bir sorundur. Bu sorunu çözmek için özel kuvars kaplamalara ve mühürlü uç kapaklara sahip lambalar kullanılır. Böylece nem elektrotlardan uzak tutulur. Lambaları yıkama tankının tam üstüne yerleştirebilirsiniz ve böylece buhar veya sıçramalar yüzünden yaşanabilecek sorunlarla uğraşmak zorunda kalmazsınız.
Dengeyi bulma
Ancak bir dezavantaj da var: Yüksek güçlü IR lambaları oldukça yoğun ısı üretir. Bu ısı yoğunluğu hız açısından avantajlı olsa da, soğutma sistemine büyük baskı uygular. Eğer konveyör bandının hızı yetersizse, wafer aşırı ısınabilir veya fotoresistler zarar görebilir. Bu yüzden güç ve band hızı arasında doğru dengeyi bulmak önemlidir.
Bu denge sağlandığında, büyük ve fazla enerji tüketen kurutma sistemlerinden kurtulmuş olursunuz. Böylece daha küçük bir alan kullanılır ve çevreye daha duyarlı bir üretim süreci elde edilir.