На лінії виробництва пластинок робота біосенсорів не дозволяє наявності теплових зміщень. Навіть незначне зміщення температури під час обробки фотополімеру може призвести до зміни ширини лінійки елементів, порушення чутливості сенсора та припинення процесу виробництва. Ми створили інфрачервоні лампи, які забезпечують стабільність температури протягом годин.
Що є важливим, так це те, що ми використовуємо випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла з кварцовими оболонками. Це дозволяє швидко передавати тепло та підтримувати чистоту середовища. Рівномірність температури на поверхні пластинки становить ±0,1°C, що підтверджується за допомогою безпосереднього вимірювання. Повторюваність результатів в межах циклів становить ±0,2°C, тож профілі температурного опромінення залишаються стабільними. Лампи розташовуються у чистих приміщеннях класу 1–100, а кількість частинок під час роботи залишається на нулевому рівні. Ефективність роботи ламп не змінюється протягом 5 000+ годин, а час реакції на зміни температури становить менше 2 секунд – це достатньо швидко для точного контролю температури.
Біосенсори ґрунтуються на тонких плівках та чутливих хімічних реагентах, які не можуть витримувати високі температури чи залишки розчинників. За допомогою інфрачервоного випромінювання пластинку нагрівається безпосередньо, а не вся камера, що зменшує теплові затримки та покращує точність процесу літографії. Це призводить до вищої якості продукції, меншої кількості необхідних корекцій та можливості точного контролю параметрів. Використання енергії зменшується, оскільки тепло подається лише тоді, коли це необхідно. Надійність системи означає менше неспланованих зупинок – саме те, що потрібно, коли лінія виробництва працює на оптимальних параметрах.
Кілька практичних порад: лампа потребує окремого джерела живлення та системи контролю температури для підтримки заданого рівня температури. Вона може бути встановлена на стандартних підставках, але на старих станціях може знадобитися незначна корекція її розташування.Необхідно правильно спланувати маршрути кабелів у чистих приміщеннях, щоб повітряні потоки залишалися на своїх місцях, а частинки не потрапляли всередину. Після налаштування системи вона може функціонувати на оптимальних параметрах вже з першого дня.