На виробничій лінії пластинка, яка щойно пройшла процедуру промивання, ще зовсім не готова до подальших обробок. Сліди води, мікрочастинки та тепловий стрес, спричинений неналежним процесом сушіння, можуть значно знизити якість продукції ще на етапі підготовки до наступних операцій. Справжньою проблемою є не лише видалення води – потрібно також контролювати стан поверхні та рівень теплового навантаження.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо систему контрольованого та швидкого надання енергії. Система забезпечує теплову однорідність на рівні ±0,1°C, тож не виникає місць з високою чи низькою температурою, які можуть спричинити проблеми з фоторезистом чи його прилипанням. Для швидкого нагріву та стабільного утримання потрібної температури використовуються інфрачервоні промені короткої та середньої довжини хвилі, а також кварцові елементи та елементи з вуглецевих волокон. Це дозволяє уникнути утворення частинок під час сушіння, що є необхідним для дотримання стандартів чистої кімнати класу 1–100. Таким чином, можна досягти стабільного контролю кута контакту та поверхні без залишків бруду після кожної процедури сушіння.
Чому це підходить для процесу виробництва
Після очищення пластинку потрібно негайно передати на місце обробки без жодного забруднення – а також без теплового впливу, який може вплинути на якість продукції. Наш метод сушіння дозволяє стабільно контролювати температуру під час процесу сушіння. Це забезпечує прогнозовані терміни виконання процедур, менше відходів через сліди води та частинки, а також стабільну роботу обладнання. Крім того, завдяки швидкому та точному контролю температури, споживання енергії залишається на низькому рівні – без зниження продуктивності.
Ось практичні деталі
Під час встановлення необхідно налаштувати систему відведення газів та потоку повітря відповідно до потужності нагрівача, щоб значення температури залишалося стабільним під навантаженням. Інтерфейси відповідають стандартам SEMI, але все одно необхідно налаштувати теплову ємність обладнання відповідно до профілю температури, щоб уникнути перевищення цього профілю. Рекомендується провести короткий тестовий запуск для налаштування швидкості нагріву та часу сушіння для конкретних умов виробництва.