MEMS سینسروں کی صفائی کے لئے IR کا استعمال
اگر آپ نے کبھی MEMS سینسروں کے ساتھ کام کیا ہے، تو آپ جانتے ہیں کہ ویفروں کو خشک کرنے میں کتنی پریشانی ہوتی ہے۔ ایک چھوٹا سا پانی کا داغ یا ذراتی آلودگی بھی پورے بیچ کو بیکار بنا دیتی ہے۔ برسوں سے ہم کنویکشن اوونز کا استعمال کرتے رہے، لیکن ایمانداری سے کہیں تو، پورے کمرے کو گرم کرکے صرف ایک ویفر کو خشک کرنا بہت زیادہ توانائی کا ضیاع ہے۔
اسی لئے ہم نے شارٹ-ویو انفراریڈ (IR) لیمپوں کا استعمال شروع کیا۔ اس طریقے میں ہوا کو گرم کرنے کی بجائے، براہِ راست ویفر کی سطح کو ہی گرم کیا جاتا ہے۔ یہ طریقہ زیادہ موثر ہے، اور زمین کے لئے بھی بہتر ہے۔
حرارت کا عنصر
IR کا کام توانائی کے اخراج کے ذریعے ہوتا ہے۔ آپ کو کمرے کے گرم ہونے کا انتظار کرنے کی ضرورت نہیں؛ توانائی براہِ راست ہدف تک پہنچ جاتی ہے۔
لیکن طاقت کی شدت کو درست رکھنا ضروری ہے۔ اگر 300 ملی میٹر کے ویفروں کو خشک کیا جارہا ہے، تو لیمپوں کو بالکل درست طریقے سے ترتیب دینا ضروری ہے۔ اگر واٹیج کم ہو، تو ویفروں پر خشکی کے نشانات پیدا ہوجاتے ہیں۔ اگر واٹیج زیادہ ہو، تو MEMS ساختوں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔ یہ ایک قسم کا توازن قائم کرنے کا عمل ہے۔
ہم جو آلات استعمال کرتے ہیں
اس کام کے لئے ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کے آلات استعمال کرتے ہیں۔ یہ تیز گرمی اور ٹھنڈک کے اثرات کو برداشت کرسکتے ہیں۔ ہم ہیلوجن سے بھرے فلامنٹوں کا بھی استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ زیادہ عرصے تک کام کرتے ہیں اور روشنی کی مقدار کو برقرار رکھتے ہیں۔
ہارڈویئر کے لحاظ سے، ہم R7s یا SK15 کنیکٹرز کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ بہت مضبوطی سے فٹ ہوتے ہیں، جس سے کوئی مسئلہ پیدا نہیں ہوتا، اور مرمت کے وقت لیمپوں کو تبدیل کرنا بہت آسان ہوجاتا ہے۔
حقیقی دنیا میں فوائد اور نقصانات
IR کا استعمال “گرین فیکٹری” کے اہداف کے لحاظ سے فائدہ مند ہے، کیوں کہ اس سے ویفروں کو خشک کرنے میں لگنے والا وقت اور ہر ویفر کے لئے استعمال ہونے والی توانائی کی مقدار کم ہوجاتی ہے۔
لیکن ایک مسئلہ یہ بھی ہے کہ اتنی زیادہ توانائی سے آلے کے اندر بہت زیادہ حرارت پیدا ہوتی ہے۔ اگر کولنگ فین اور ہیٹ ایکسچینجر مناسب طریقے سے کام نہ کریں، تو آلہ زیادہ گرم ہوجاتا ہے، اور لیمپ جلد ہی خراب ہوجاتے ہیں۔
جب وائرنگ اور کولنگ سسٹم مناسب طریقے سے کام کرتے ہیں، تو سب کچھ ٹھیک رہتا ہے۔ ویفروں کو جلدی خشک کیا جاسکتا ہے، توانائی کا ضیاع کم ہوجاتا ہے، اور آلے کا سائز بھی کم ہوجاتا ہے۔ دراصل، آپ کوشش کرتے ہیں کہ شروع میں تھوڑی زیادہ توانائی استعمال کی جائے، لیکن بعد میں توانائی کا بل کم رہے۔