سونے سے ڈھکے ہوئے ٹوین-ٹیوب لیمپس کے ذریعہ حرارتی بوجھ کو مناسب سطح پر رکھنا
سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں، اگر حرارتی پروفائل میں تھوڑی سی بھی خرابی ہو جائے، تو اس کے نتیجے میں ویفرز تباہ ہو جاتے ہیں۔ یہ ایک بہت ہی اہم مسئلہ ہے۔ ہم نے پایا کہ ٹوین-ٹیوب، سونے سے ڈھکے ہوئے IR لیمپس کا استعمال، بغیر زیادہ بجلی کے صرف کیے، ان اہداف کو حاصل کرنے کا بہترین طریقہ ہے۔
سونے کی تہہ اور ٹوین-ٹیوب ڈیزائن کیوں؟
دراصل، عام کوارٹز ٹیوبوں میں بہت زیادہ بجلی ضائع ہوتی ہے۔ کوارٹز کی اندرونی سطح پر سونے کی تہہ لگانے سے، لیمپ دراصل ایک آئینے کی طرح کام کرتا ہے۔ اس طرح حرارت ہر جگہ نہیں پھیلتی، بلکہ سیدھے ویفر کی طرف واپس آتی ہے۔ اس طرح آپ کو وہاں حرارت ملتی ہے جہاں اس کی ضرورت ہے، اور کلین روم بھی گرم نہیں ہوتا۔
ٹوین-ٹیوب ڈیزائن کے فوائد
ٹوین-ٹیوب ڈیزائن ایک بہترین انجینیرنگ حل ہے؛ اس سے ریڈییٹنگ سطح دوگنی ہو جاتی ہے، لیکن جگہ کی ضرورت نہیں پڑتی۔ اس طرح آپ زیادہ واٹج بجلی استعمال کر سکتے ہیں، بغیر پورے ہیٹنگ سسٹم کو دوبارہ تیار کرنے کی ضرورت کے۔
توازن قائم کرنا ضروری ہے
آپ صرف بجلی کی مقدار کو بڑھا کر کام نہیں کر سکتے۔ جب لیمپوں کو زیادہ بجلی دی جاتی ہے، تو وہ بہت گرم ہو جاتے ہیں۔ سونے کی تہہ سے سسٹم زیادہ کارگر ہو جاتا ہے، لیکن اس سے ٹیوب کی سطح کا درجہ حرارت بھی بہت بڑھ جاتا ہے۔ اگر کولنگ فین یا ہیٹ سنک مناسب نہ ہوں، تو فلمنٹس تباہ ہو جاتے ہیں۔ لہذا آپ کو یہ سوچنا ہوگا کہ ہر انچ کے لئے کتنی بجلی کی ضرورت ہے، اور سسٹم کتنی اچھی طرح حرارت کو خارج کر سکتا ہے۔
کاربن فุٹپرنٹ کو کم کرنا
زیادہ تر فیکٹریاں “سبز” ہونے کی کوشش کرتی ہیں، لیکن “سبز” کا مطلب عموماً “زیادہ پیسے خرچ کرنا” ہوتا ہے۔ لیکن اس بار ایسا نہیں ہے۔ پرانے آونوں میں بہت زیادہ بجلی ضائع ہوتی ہے، کیوں کہ وہ چیمبر کے ہر انچ کو گرم کرنے کی کوشش کرتے ہیں۔ ہمارے IR سسٹم میں حرارت سیدھے سبسٹریٹ پر پڑتی ہے۔ چونکہ سونے سے ڈھکے ہوئے ٹوین-ٹیوب لیمپس بہت تیزی سے گرم ہوتے ہیں، اس لئے پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے۔ اس طرح ہر ویفر کے لئے کم کلوواٹ-گھنٹے درکار ہوتے ہیں۔ اس کے علاوہ، جب ان لیمپوں کو زونڈ کنٹرول سسٹم سے جوڑا جاتا ہے، تو پرانے ریزسٹیو ہیٹرز سے ہونے والی بجلی کی بچت ہوتی ہے۔ یہ ایک آسان طریقہ ہے کہ کلین روم کو بہتر طریقے سے چلایا جا سکے۔