Trong quy trình sản xuất, chiếc wafer vừa được rửa sạch vẫn chưa hoàn thành việc xử lý. Các vết nước, hạt bụi nhỏ, cùng áp lực nhiệt từ quá trình sấy không đúng cách có thể làm giảm chất lượng wafer ngay từ giai đoạn này. Thách thức thực sự không chỉ là loại bỏ nước ra khỏi bề mặt wafer, mà còn là việc kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ trên bề mặt wafer.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật: Chúng tôi sử dụng phương pháp sấy có kiểm soát chặt chẽ về mức năng lượng được cung cấp. Hệ thống này duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, nhờ đó tránh được các vùng nóng/lạnh có thể gây ra hiện tượng tràn chất lỏng hoặc tổn thương bề mặt wafer. Các thiết bị sấy sử dụng sóng hồng ngoại tần số ngắn và trung bình; các linh kiện bằng thạch anh và sợi carbon giúp đảm bảo quá trình sấy diễn ra nhanh chóng và ổn định. Điều này giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi trong quá trình sấy, đồng thời đảm bảo bề mặt wafer luôn sạch sẽ, phù hợp với tiêu chuẩn của phòng sạch loại 1–100.
Tại sao phương pháp này phù hợp với quy trình sản xuất? Sau khi được làm sạch, wafer cần được đưa vào quy trình in ấn hoặc sấy chất lỏng mà không bị nhiễm bẩn, đồng thời không có tác động xấu từ nhiệt độ đối với độ dày lớp chất lỏng và khả năng bám dính của nó. Phương pháp sấy của chúng tôi giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong suốt quá trình sấy. Nhờ đó, thời gian sấy được kiểm soát chặt chẽ, giảm thiểu lượng waste do các vết nước và hạt bụi gây ra, đồng thời đảm bảo máy hoạt động ổn định. Vì việc kiểm soát nhiệt độ diễn ra nhanh chóng và chính xác, nên mức tiêu thụ năng lượng cũng được kiểm soát chặt chẽ – giúp giảm chi phí năng lượng mà vẫn duy trì được tốc độ sản xuất.
Những chi tiết thực tế: Khi lắp đặt, bạn cần điều chỉnh lưu lượng khí thải và dòng khí trong buồng sấy sao cho phù hợp với công suất của thiết bị sấy, nhằm đảm bảo nhiệt độ được duy trì ổn định dưới tải trọng cao. Các giao diện kết nối tuân thủ tiêu chuẩn SEMI, nhưng bạn vẫn cần điều chỉnh khối lượng nhiệt của bề mặt wafer sao cho phù hợp với quy trình sấy. Bạn nên thực hiện một vài lần test để điều chỉnh tốc độ sấy và thời gian sấy cho từng loại chất lỏng được sử dụng.