Trong quy trình sản xuất, bạn biết rồi đấy: một sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5°C cũng có thể làm thay đổi cấu trúc của lớp phim quang học; và một hạt bụi nhỏ cũng có thể phá hủy toàn bộ sản phẩm. Các ống sưởi bằng thủy tinh thạch anh tần số trung bình được sử dụng trong quy trình này. Việc kiểm soát nhiệt độ không phải là một thiết lập cố định, mà là một quy trình cần được thực hiện liên tục.
Điều quan trọng nhất Thủy tinh thạch anh tần số trung bình phát ra bức xạ trong dải bước sóng 2,5–4 μm, giúp làm nóng lớp phim quang học và các lớp màng nước mỏng một cách hiệu quả, mà không gây áp lực quá lớn lên bề mặt vật liệu. Điều này giúp việc làm nóng diễn ra nhanh chóng và chính xác, với độ ổn nhiệt cao. Trên toàn bộ chiều dài ống sưởi, nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ lặp lại của nhiệt độ vẫn ở mức ổn định từ lô sản xuất này sang lô khác. Việc thiết kế ống sưởi sao cho phù hợp với môi trường sạch giúp giảm thiểu sự hình thành các hạt bụi – điều này rất quan trọng trong các môi trường loại 1–100. Hiệu suất hoạt động của ống sưởi vẫn ổn định sau hơn 5.000 giờ sử dụng, với mức giảm quang thông ở mức tối thiểu.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình sản xuất của chúng tôi Trong quy trình làm khô wafer, năng lượng từ ống sưởi giúp loại bỏ hơi ẩm trên bề mặt wafer một cách nhanh chóng và đồng đều, giúp tránh tình trạng hình thành các giọt nước trên bề mặt wafer, điều này rất quan trọng trong quy trình in ấn. Trong quy trình làm nóng sơ bộ lớp phim quang học, ống sưởi giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bộ bề mặt wafer, giúp quá trình loại bỏ dung môi diễn ra một cách nhất quán. Điều này rất quan trọng để kiểm soát độ dày của các đường kẻ trên wafer và cấu trúc của các bức tường bên cạnh chúng.
Sự ổn định này cũng được duy trì trong quy trình làm nóng và khử ẩm. Điều này giúp giảm số lần phải làm lại sản phẩm, từ đó nâng cao tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn. Ngoài ra, việc sử dụng ống sưởi này còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì phản ứng của ống sưởi diễn ra ngay lập tức và thời gian hoạt động ngắn. Thời gian ngừng hoạt động do lỗi cũng giảm đi, vì ống sưởi hoạt động ổn định 24/7.
Những điều cần lưu ý Khoảng cách lắp đặt ống sưởi rất quan trọng. Hãy đảm bảo rằng ống sưởi được lắp cách xa các bộ phận phản xạ và bảo vệ, để tránh tình trạng tạo ra các điểm nóng và các vết nứt trên bề mặt wafer. Hãy kết nối ống sưởi với hệ thống PLC bằng loại nhiệt kế phù hợp, và đảm bảo rằng hệ thống cung cấp điện có thể đáp ứng được lượng điện cần thiết khi ống sưởi bắt đầu hoạt động.
Hãy lên kế hoạch cho việc giảm nhiệt sau khi ngừng quy trình sản xuất. Ống sưởi sẽ nguội nhanh, nhưng bề mặt wafer vẫn giữ nhiệt, điều này có thể ảnh hưởng đến quy trình làm nóng tiếp theo nếu quy trình không được điều chỉnh đúng cách.