Tại sao chúng ta sử dụng đèn hồng ngoại trong quy trình rửa wafer trong ngành công nghiệp bán dẫn
Việc áp dụng các giải pháp thân thiện với môi trường trong các nhà máy bán dẫn không chỉ là để đáp ứng các yêu cầu bắt buộc. Đó còn là cách để loại bỏ các chất gây ô nhiễm và giảm lượng năng lượng tiêu thụ. Chính vì vậy, chúng ta chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại để sấy khô wafer.
Đèn hồng ngoại hoạt động theo cách khác so với các phương pháp sấy thông thường. Thay vì làm nóng không khí và toàn bộ căn phòng như những chiếc lò nướng khổng lồ, đèn hồng ngoại tập trung năng lượng trực tiếp vào wafer. Cách này giúp tiết kiệm năng lượng hiệu quả.
Giảm lãng phí năng lượng
Phương pháp sấy bằng không khí nóng truyền thống tiêu tốn rất nhiều năng lượng. Bạn phải chi một khoản tiền lớn chỉ để duy trì nhiệt độ trong phòng ở mức cao. Ngược lại, đèn hồng ngoại sử dụng bức xạ sóng ngắn hoặc sóng trung bình để làm cho các phân tử nước trên bề mặt wafer rung động và bay hơi ngay lập tức. Quá trình này diễn ra rất nhanh.
Vì vậy, bạn không cần phải tiêu tốt nhiều năng lượng để sấy khô mỗi wafer. Ngoài ra, không có khí thải hay chất hóa học nào được tạo ra, giúp môi trường trong phòng sấy trở nên an toàn hơn.
Xử lý vấn đề “vùng ẩm ướt”
Các khu vực rửa wafer vốn mang tính chất ẩm ướt. Nếu sử dụng đèn hồng ngoại thông thường, chúng sẽ bị hỏng ngay khi bị nước làm ướt. Để khắc phục điều này, chúng ta sử dụng đèn có vỏ bằng thạch anh và các bộ phận được niêm phong kỹ lưỡng. Điều này giúp ngăn chặn hơi ẩm tiếp xúc với các điện cực. Bạn có thể lắp đặt đèn ngay trên bồn rửa, mà không cần lo lắng về hơi nước hay nước bắn ra gây hư hại cho đèn.
Tìm điểm cân bằng
Tuy nhiên, vẫn còn một vấn đề: đèn hồng ngoại có công suất cao sẽ tạo ra nhiệt lượng lớn. Điều này tốt cho tốc độ sấy khô, nhưng cũng tạo áp lực lớn lên hệ thống làm mát. Nếu băng tải di chuyển chậm, wafer sẽ bị quá nhiệt hoặc chất bảo vệ bề mặt wafer sẽ bị phá hủy. Bạn cần tìm được điểm cân bằng giữa công suất của đèn và tốc độ di chuyển của băng tải, để tránh làm hư hại wafer.
Khi tìm được điểm cân bằng này, bạn có thể loại bỏ những thiết bị sấy cồng kềnh và tiêu tốn nhiều năng lượng. Như vậy, bạn sẽ có một hệ thống sấy hiệu quả hơn và ít gây ô nhiễm môi trường hơn.