على أرضية الطباعة الحجرية، تخرج الرقاقة من الشطف النهائي ويبدأ الوقت.
يترك التجفيف التقليدي وراءه علامات مائية، أفلام رقيقة، وجزيئات لا يمكنك رؤيتها - حتى تظهر كعيوب في الطلاء الضوئي. في مصنع 300mm يعمل بنظافة من الفئة 1، هذا ليس خطرًا. إنه العائد الذي يخرج من الباب.
ما يهم تحت الغطاء قمنا ببناء سخان الأشعة تحت الحمراء لتجفيف الرقاقة حول موجات NIR القصيرة. يقوم بإطلاق الطاقة مباشرة في الفيلم المائي، بسرعة - استجابة أقل من 50 مللي ثانية. تحافظ التوحيد الحراري عبر الرقاقة عند ±0.1°C، لذا لا تحصل على بقع ساخنة/باردة تؤثر على إعادة تدفق الطلاء الضوئي بعد الخبز اللين والخبز الصلب. تقع مصفوفات المصدات خلف الكوارتز المغلق، مع واجهة خالية من الجزيئات ومنخفضة الانبعاث، والمنصة متوافقة مع غرفة نظيفة تصل إلى الفئة 1-100. تأتي القابلية للتكرار من التحكم في الحلقة المغلقة الذي يتتبع نقطة الضبط ضمن 0.5%، حتى عند التشغيل على مدار الساعة طوال أيام الأسبوع. في نشرات متعددة المجموعات، سجلنا عدم وجود أي وقت تعطل غير مخطط له على مدى 18 شهرًا.
لماذا يعمل هذا حيث يهم قبل الدوران، تحتاج إلى رقاقة جافة حقًا. بعد الدوران، تحتاج إلى ملفات خبز يمكنك الاعتماد عليها. يجفف سخان الأشعة تحت الحمراء دون لمس السطح، مما يزيل آخر 10-20 نانومتر من الماء دون بقايا تسبب التلطيخ أو الربط. نفس المنصة الحرارية تتعامل مع خبز الطلاء الضوئي اللين والخبز الصلب بملفات مستقرة، لذا يتم التحكم في عرض الخطوط بشكل أكثر دقة وتقل إعادة العمل. عيوب أقل. نفايات أقل. وقت دورة يمكنك التخطيط حوله. ينخفض استخدام الطاقة لأن السخان يقدم الطاقة عند الطلب، دون تشغيل تجهيزات ضخمة بدون فائدة.
تحتاج التركيب إلى محاذاة دقيقة مع غرفة المعالجة ومسار عادم مخصص لسحب المذيبات الكامنة أثناء الخبز. يتصل السخان بواجهات أدوات وفقًا لمعايير SEMI، على الرغم من أن المنصات القديمة قد تحتاج إلى تعديلات ميكانيكية طفيفة. تكون فترة بدء التشغيل قصيرة بمجرد ضبط الوصفة على طبقة الطلاء الضوئي الخاصة بك. في خطوط الإنتاج عالية السعة، قم بإعداد جدول لفحص نافذة الكوارتز - فهي تبقي أداء الجزيئات حيث يجب أن يكون.