Warum wir Gold in die Gehäuse unserer Heizgeräte einbauen
Beim Erhitzen von Siliziumwafeln zählt jede Energieneinheit. Wenn die Wärme in die Wände des Gehäuses abgeleitet wird, anstatt auf die Wafer zu wirken, verschwendet man im Grunde genommen Energie und Zeit.
Deshalb nutzen wir in unseren Edelstahlegehäusen eine mit Gold beschichtete Reflektortechnologie. Das Ziel ist einfach: Jeder einzige Watt an Infrarotstrahlung soll direkt auf die Wafer zurückgeworfen werden.
Das Problem mit Gold
Polierter Edelstahl funktioniert zwar gut – doch im langwelligen Infrarotspektrum versagt er. Gold hingegen reflektiert über 98 Prozent dieser Energie. Durch die Verkleidung der Innenseiten mit Gold verwandeln wir das Gehäuse in einen Spiegel. Anstatt dass die Wände die Wärme aufnehmen und damit den Reinraum erwärmen, trifft die Energie auf das Gold und wird direkt zurück auf die Wafer gerichtet.
Langlebigkeit
Wir verwenden hochwertigen Edelstahl – schließlich müssen diese Geräte extreme Temperaturschwankungen aushalten. Wir dürfen nicht zulassen, dass das Gehäuse verformt wird. Um das Gold aufzubringen, nutzen wir den Vakuumbeschichtungsprozess. Dieser Prozess sorgt dafür, dass die Beschichtung stabil bleibt. Man wird keine Abblätterungen oder Risse feststellen, selbst wenn das System auf höhere Temperaturen gebracht wird.
Das Problem mit der Geometrie
Wenn die Krümmung des Gehäuses auch nur um wenige Millimeter abweicht, entstehen Hotspots. Das ist ein Albtraum für die Qualität der Wafer. Wir passen die Brennweite genau an die Leistung der Lampe an, damit die Wärmeverteilung gleichmäßig über die gesamte Waferfläche erfolgt.
Der Nachteil
Gold ist zwar ein hervorragender Reflektor – doch es ist auch weich. Wenn im Prozess korrosive Gase oder abrasive Partikel verwendet werden, kann die Beschichtung im Laufe der Zeit beschädigt werden. Sobald solche kleinen Löcher entstehen, sinkt die Effizienz des Systems. Man muss daher ständig auf Sauberkeit achten – die Oberflächen müssen wie ein Spiegel glänzen. Andernfalls muss man die Leistung erhöhen, um den verlorenen Energieverlust auszugleichen.