Sicherheit bei der Verwendung von Infrarotstrahlung in der Nähe flüchtiger Chemikalien
Wenn man Wafer mit chemischen Mitteln reinigt, hat man es meist mit Lösungsmitteln zu tun, die Hitze überhaupt nicht vertragen. Sie sind entzündlich – manchmal sogar explosiv. Die Verwendung einer Hochtemperatur-Infrarotlampe in dieser Umgebung bedeutet im Grunde, Probleme herbeizurufen.
Der Trick besteht nicht darin, die Lampe „sicherer“ zu machen – sondern darin, sie richtig zu umhüllen.
Verhindern von Funkenbildung
Die meisten Infrarotlampen lassen die elektrischen Anschlüsse sowie den Quarzkörper offen. In einer Reinigungszone ist das ein Desaster. Ein kleiner Funke oder etwas Dampf, der in das Gehäuse gelangt, kann bereits zu Problemen führen.
Wir lösen dieses Problem, indem wir das Ganze in ein explosionsgeschütztes Gehäuse einbauen. Wir füllen dieses Gehäuse mit einer chemisch inerten Atmosphäre, sodass die Lampe und ihre Anschlüsse niemals mit der gefährlichen Luft in Berührung kommen.
Außerdem verwenden wir keine billigen Materialien. Standardstahl oder Aluminium würden durch die korrosiven Dämpfe zerstört werden. Stattdessen verwenden wir hochwertige Fluorpolymere oder spezielle Legierungen. Dadurch bleiben die Chemikalien draußen und die Elektrizität dort, wo sie hingehört.
Das Problem mit der Wärme
Das Problem ist folgendes: Wenn man die Lampe in ein schweres Schutzgehäuse einbaut, besteht die Gefahr, dass die Wärme blockiert wird. Man möchte schließlich nicht, dass die Wafer die benötigte Energie nicht erhalten – oder noch schlimmer: dass die Lampe von innen heraus zerstört wird.
Um dies zu vermeiden, verwenden wir Fenster aus Materialien mit hoher Lichtdurchlässigkeit. So kann die Wärme zur Wafer gelangen, während die Lampe weiterhin geschützt bleibt.
Man muss außerdem die interne Temperatur genau im Auge behalten. Wenn das Gehäuse zu fest abschließt, entsteht Wärme an den Enden des Rohres – das kann dazu führen, dass die Filamente beschädigt werden. Wir gleichen diese Situation aus, indem wir integrierte Kühlkörper verwenden, die die überschüssige Wärme abführen. Dadurch bleibt die Ausrüstung länger funktionsfähig.
Was das für Ihre Anlage bedeutet
Achtung: Diese eingebauten Lampen sind größer als herkömmliche Lampen. Sie müssen wahrscheinlich die Halterungen anpassen, damit genug Platz für das Gehäuse vorhanden ist.
Außerdem bewirkt das zusätzliche Gewicht des Gehäuses, dass die Wärme nicht sofort weitergeleitet wird. Sie müssen die PID-Schaltungen neu einstellen. Es dauert etwas länger, bis die Lampe reagiert – aber das ist ein kleiner Preis dafür, dass Ihr Labor nicht zerstört wird.