IR on Master Infrared Heating Systems

Präziser IR Sensor für Wafer

Thu, 23 Jul 2026 12:14:43 +0800

Warum IR-Heizung besser ist als die Verwendung von Gebläseluft – wenn jede Sekunde zählt
Wenn Sie weiterhin auf die Zirkulation von Heiluft für die Behandlung der Wafer setzen, spielen Sie im Grunde ein Wartespiel.
Denken Sie daran, wie Gebläseluft funktioniert: Zunächst wird die Luft erhitzt, anschließend muss man warten, bis diese Luft die Wafer erwärmt hat. Das ist langsam – es gibt eine lästige Verzögerung. IR-Heizung hingegen eliminiert diesen „Mittelsmann“. Die Energie wird direkt durch elektromagnetische Strahlung in das Siliziumsubstrat geleitet. Kein Warten, keine Verzögerungen.
Der eigentliche Nachteil sind die Zeitkosten.
Bei der tiefen Bearbeitung ist Zeit entscheidend – sie bestimmt schließlich den Gewinn. Mit Heiluft muss man warten, bis der gesamte Raum erwärmt ist – und noch schlimmer: bis er wieder abkühlt. Das ist sehr zeitaufwändig.
IR-Lampen sind anders: Sie bringen die gewünschte Temperatur bereits nach wenigen Sekunden erreicht. Bei der Rapid Thermal Processing-Methode sind gerade diese paar Sekunden entscheidend. Und wenn man den Schalter ausschaltet, hört die Heizung fast sofort auf. Man muss nicht gegen eine Menge heißer Luft kämpfen, die einfach nicht abkühlen will.
Außerdem gibt es noch das Problem der „Kaltstellen“
Wir alle kennen dieses Problem: Man arbeitet mit einem 300-mm-Wafer – doch die Ränder erreichen die gewünschte Temperatur nicht. Die Konvektion der Luft führt dazu, dass die Temperatur ungleichmäßig verteilt ist.
Wir lösen dieses Problem, indem wir IR-Sensoren verwenden, um die Oberflächentemperatur in Echtzeit zu überwachen. Dadurch können wir die Heizung gezielt einsetzen. Wenn die Ränder etwas kälter sind, erhöhen wir einfach die Leistung der äußeren Lampenringe. Das ist eine viel intuitivere Methode. Zudem verhindert dies, dass die Wafer verdreht werden – und der Dopantgehalt bleibt genau dort, wo er sein soll.
Aber es ist nicht alles perfekt. Es gibt auch Nachteile.
IR-Heizung ist zwar sehr effektiv – doch das bedeutet, dass die Stromversorgung unter Belastung gerät. Außerdem muss man bei der Einstellung des PID-Systems besonders vorsichtig sein.
Falls die Sensoren auch nur leicht fehlerhaft sind, wird die Temperatur zu hoch – und damit ist die ganze Charge ruiniert. Es ist stressig, wenn man der Kalibrierung nicht vertrauen kann.
Achten Sie außerdem auf die Lampen: Wenn die Filamente abgenutzt sind, nimmt die Heizleistung ab. Man kann die Lampen nicht einfach so lassen – man benötigt einen strengen Austauschplan, damit die Erträge konstant bleiben.

Keramische Endkappe für IR Emitter

Thu, 23 Jul 2026 11:59:59 +0800

Stoppen Sie das Ausschütteln von Partikeln: So stellen Sie eine perfekte Heizung in einer Klasse 100 sicher
Wenn Sie eine Reinraumumgebung der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem, das durch einzelne Partikel entsteht. Schon ein winziger Staubkorn kann dazu führen, dass die ganze Charge unbrauchbar wird.

Das Problem liegt meist bei den Heizelementen. Die meisten herkömmlichen IR-Lampen werden mit billigen Metallen oder Klebstoffen bei den Dichtungen hergestellt. Sobald diese Lampen zu heizen und abzukühlen beginnen – also durch dieses ständige thermische Wechselspiel – beginnen diese Materialien zu versagen. Sie zerfallen und setzen Schadstoffe frei, die in Ihren Prozess gelangen. Es handelt sich dabei um eine Katastrophe, die nur darauf wartet, einzutreten.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Sun, 12 Jul 2026 10:27:43 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Handhabung von Infrarotwärme
Seien wir ehrlich: Energieverschwendung in einer Halbleiterfabrik bedeutet einfach nur, Geld wegzuwerfen. Die meisten Menschen verwenden weiterhin Standard-Aluminiumreflektoren – doch das Problem ist: Sie sind nicht in der Lage, das gesamte Spektrum des Infrarotlichts abzublenken. Ein großer Teil der Energie geht somit verloren. Das ist eine Verschwendung.

Kwarsummantelung für IR Lampe

Wed, 24 Jun 2026 04:33:07 +0800

In der Fertigungshalle ist das Erhitzen des Fotoresists keine Empfehlung – es handelt sich dabei vielmehr um eine notwendige thermische Prozedur. Schon eine Veränderung von 0,5°C kann zu Abweichungen in den kritischen Dimensionen führen. Zudem kann bereits ein einziger Partikel aus dem Schutzgehäuse dazu führen, dass die Wafer beschädigt werden. Unser Quarzschutzgehäuse für IR-Lampen ist genau auf diese Bedingungen ausgelegt: Es sorgt dafür, dass die Leistung der Lampe konstant bleibt, die Kammer sauber bleibt und der Prozess unter Kontrolle bleibt.