Lampe für das Backen in einer kontrollierten Atmosphäre

Sun, 21 Jun 2026 06:49:38 +0800

In der Fertigungshalle sind thermische Schwankungen die stillen „Yield-Killer“ – sie sind nicht immer sichtbar. Eine Temperaturänderung von 0,5 °C während des Weichbrennvorgangs des Photoresists kann dazu führen, dass die CDs verschoben werden. Wenn nach der Reinigung Feuchtigkeit zurückbleibt, entstehen Mikrobridgen. Bei der Verpackung führen ungleichmäßige Aushärtungsprozesse zu Verformungen und beeinträchtigen die Zuverlässigkeit. Man benötigt daher eine gleichmäßige Wärmezufuhr – innerhalb der vom Nutzer festgelegten Atmosphäre im Ofen.

Was technisch wichtig ist:
Wir bauen Ofenlampen mit kontrollierter Atmosphäre, bei denen die Temperatur stets konstant bleibt und der Prozess sauber abläuft. Kurzwellige Halogenelemente sorgen für eine schnelle und präzise Erwärmung – mit genau kontrolliertem Spektrum. Dadurch bleibt die Homogenität der Wafer auf einem Niveau von ±0,1 °C innerhalb der Brennzone. Quarzkomponenten sowie Geräte mit geringer Gaskompression verhindern die Entstehung von Partikeln und halten die Umgebung in der Klassifizierung 1–100 ein. Das System hält die eingestellte Temperatur auch unter Stickstoff- oder Trockenluftbedingungen aufrecht – dadurch bleiben Feuchtigkeit und Sauerstoff draußen. Die integrierte Rückkopplung sorgt dafür, dass das thermische Profil von Lauf zu Lauf gleich bleibt – mit nachvollziehbaren Aufzeichnungen für die Kontrolle zwischen den Chargen.

Kontrolliert on Master Infrared Heating Systems

Lampe für das Backen in einer kontrollierten Atmosphäre