Quarzglas Schutz für Fab Lampe

Fri, 17 Jul 2026 08:06:13 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Lampenversagen Ihre Produktion beeinträchtigt!
In einer Fabrik mit hohem Produktionsvolumen ist ein Ausfall einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – wenn die Quarzkapsel platzt, fallen Glassplitter und chemische Stoffe direkt auf die Wafer. Das bedeutet sofortigen Ausschuss der Wafer sowie einen langwierigen und zeitaufwendigen Reinigungsprozess.

Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Man setzt einfach einen Quarzschild zwischen den Heizelement und die Werkstücke. Einfach – aber effektiv.

Mittelwellen Quarzheizrohr

Sat, 20 Jun 2026 06:19:20 +0800

Auf der Fertigungsfläche gilt folgendes Prinzip: Eine Abweichung von 0,5 °C in der Backtemperatur verändert das Profil des Photoresists – und eine einzige Störpartikel kann dazu führen, dass ein Chip unbrauchbar wird. In dieser Welt kommen Mittelwellenquarzheizrohre zum Einsatz. Die thermische Steuerung ist hier keine Einstellung – sie ist vielmehr ein integraler Bestandteil des Prozesses.

Was wirklich wichtig ist Mittelwellenquarze strahlen im Bereich von 2,5–4 μm aus. Dadurch kann die Wärme effektiv in den Photoresist sowie in dünne Wasserschichten übertragen werden, ohne dass der Substrat zu stark belastet wird. Dadurch ergibt sich eine schnelle, kontrollierte Erwärmung mit geringer thermischer Trägheit. Über die gesamte Länge des Heizrohres bleibt die Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1 °C konstant – und die Reproduzierbarkeit bleibt dabei über alle Chargen hinweg gleich. Die Bauweise, die für Reinräume geeignet ist, sorgt dafür, dass es kaum Störpartikel gibt – was in Umgebungen der Klassen 1–100 sehr wichtig ist. Die Leistung bleibt auch nach mehr als 5.000 Stunden stabil, wobei es nur minimale Abfälle in der Leistung gibt.

Quarz on Master Infrared Heating Systems

Quarzglas Schutz für Fab Lampe

Mittelwellen Quarzheizrohr