Doppelröhrenlampe mit Goldüberzug

Thu, 16 Jul 2026 02:44:59 +0800

Die richtige Steuerung der thermischen Lasten mit goldbeschichteten Doppelröhrenlampen
In Halbleiterfabriken kann bereits eine minimale Abweichung im thermischen Profil dazu führen, dass die Wafer beschädigt werden. Es handelt sich dabei um ein hochriskantes Unterfangen. Wir haben festgestellt, dass die Verwendung von goldbeschichteten IR-Lampen mit Doppelröhrenkonstruktion die beste Lösung ist – damit können die erforderlichen Temperaturen erreicht werden, ohne dabei unnötig viel Energie zu verbrauchen.

Warum Gold und die Doppelröhrenkonstruktion?
StandardquarZRöhren sind undicht – sie leiten Energie überallhin ab, was eine Verschwendung darstellt. Durch eine Goldbeschichtung auf der Innenseite der QuarZRöhre wird die Lampe im Grunde zu einem Spiegel. Anstatt dass die Wärme überallhin streut, wird sie direkt zurück auf den Wafer gelenkt. So entsteht ein fokussierter Wärmestrahl, genau dort, wo er benötigt wird – und der Reinraum wird nicht zur Sauna.

Mittelwellen Quarzheizrohr

Sat, 20 Jun 2026 06:19:20 +0800

Auf der Fertigungsfläche gilt folgendes Prinzip: Eine Abweichung von 0,5 °C in der Backtemperatur verändert das Profil des Photoresists – und eine einzige Störpartikel kann dazu führen, dass ein Chip unbrauchbar wird. In dieser Welt kommen Mittelwellenquarzheizrohre zum Einsatz. Die thermische Steuerung ist hier keine Einstellung – sie ist vielmehr ein integraler Bestandteil des Prozesses.

Was wirklich wichtig ist Mittelwellenquarze strahlen im Bereich von 2,5–4 μm aus. Dadurch kann die Wärme effektiv in den Photoresist sowie in dünne Wasserschichten übertragen werden, ohne dass der Substrat zu stark belastet wird. Dadurch ergibt sich eine schnelle, kontrollierte Erwärmung mit geringer thermischer Trägheit. Über die gesamte Länge des Heizrohres bleibt die Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1 °C konstant – und die Reproduzierbarkeit bleibt dabei über alle Chargen hinweg gleich. Die Bauweise, die für Reinräume geeignet ist, sorgt dafür, dass es kaum Störpartikel gibt – was in Umgebungen der Klassen 1–100 sehr wichtig ist. Die Leistung bleibt auch nach mehr als 5.000 Stunden stabil, wobei es nur minimale Abfälle in der Leistung gibt.

Röhre on Master Infrared Heating Systems

Doppelröhrenlampe mit Goldüberzug

Mittelwellen Quarzheizrohr