En la planta de fabricación, la deriva térmica durante el secado de los wafer o durante el proceso de curado del fotorrésisto no solo reduce la eficiencia de producción, sino que también afecta negativamente las dimensiones críticas de los componentes y disminuye la tasa de éxito en la producción. Es necesario contar con un calentamiento rápido, estable y preciso, ciclo tras ciclo.
Nuestros emisores infrarrojos para PECVD utilizan energía de onda corta para lograr una respuesta térmica rápida, manteniendo una uniformidad en toda la superficie del wafer de hasta ±0.1°C durante todo el proceso. Los revestimientos de cuarzo y los filamentos especiales evitan la generación de partículas, lo que permite mantener el entorno dentro de las condiciones requeridas por las salas limpias de clase 1–100. La intensidad de calor se mantiene estable durante más de 5,000 horas, con una deriva inferior al 5%, lo que garantiza que el sistema funcione de manera consistente. El sistema se integra fácilmente en los módulos de PECVD y de procesos térmicos existentes, con opciones de voltaje estándar y un tamaño compacto que no interfiere con el diseño del equipo.
En los procesos de secado y limpieza de los wafer, estos emisores permiten una desorción rápida sin demoras térmicas, reduciendo así el tiempo de ciclo mientras se mantiene la humedad en la superficie del wafer al mínimo. En la litografía, permiten un control preciso de la temperatura durante los procesos de curado, lo que contribuye a estabilizar los perfiles del fotorrésisto y la uniformidad de sus propiedades. En el proceso de empaquetado, permiten una curación rápida y uniforme de los materiales utilizados, reduciendo el tiempo de exposición al horno sin afectar la adherencia de los mismos.
Junto con electrónica de control eficiente en términos energéticos, el consumo de energía es menor en comparación con los calentadores resistentivos. Además, los intervalos de mantenimiento se alargan, ya que no hay filamentos calientes expuestos a los gases utilizados en los procesos.
Lo importante en su instalación es asegurar que la geometría del reflector y el circuito de control térmico del equipo estén ajustados adecuadamente. Suministramos mapas de calibración para las configuraciones más comunes de las cámaras. Cuando cambie de perfiles de onda media a onda corta, espere un tiempo adicional para que el sistema alcance la temperatura deseada. Asegúrese también de que la ubicación de los sensores coincida con el perfil térmico que proporcionamos. Use hardware de montaje compatible con salas limpias y verifique la compatibilidad de las tuberías de gases para evitar la formación de condensación en las interfaces.