Lámpara de doble tubo _con revestimiento de oro

Thu, 16 Jul 2026 02:44:59 +0800

Cómo controlar las cargas térmicas con lámparas de doble tubo recubiertas de oro
En las fábricas de semiconductores, si el perfil térmico no es preciso, eso significa que las obleas quedarán dañadas. Se trata de una situación muy delicada. Hemos descubierto que utilizar lámparas infrarrojas de doble tubo recubiertas de oro es la mejor manera de alcanzar esos objetivos sin desperdiciar energía.

¿Por qué el uso del oro y el diseño de doble tubo?
Los tubos de cuarzo convencionales tienen fugas; dejan escapar energía por todo el chasis, lo cual es un desperdicio. Al recubrir el interior del tubo de cuarzo con oro, en realidad convertimos la lámpara en un espejo. En lugar de que el calor se disperse por todas partes, este se dirige directamente hacia la oblea. De esta forma, se obtiene un haz de calor concentrado donde realmente se necesita, y la sala limpia no se convierte en una “sauna”.

Tubo calentador de cuarzo de onda media

Sat, 20 Jun 2026 06:19:20 +0800

En la planta de fabricación, ya se sabe cómo funciona todo: una variación de 0,5°C en la temperatura de cocción altera el perfil del fotoreactivos, y una sola partícula puede arruinar todo el proceso de fabricación. Los calentadores de cuarzo de onda media forman parte de este sistema. El control térmico no es simplemente un ajuste, sino parte integral del proceso.

Lo que realmente importa El cuarzo de onda media emite radiación en el rango de 2,5–4 μm, lo que permite una transferencia eficaz de calor al fotoreactivos y a las capas finas de agua, sin sobrecalentar el sustrato. Esto permite un calentamiento rápido y controlado, con baja inercia térmica. En toda la longitud del tubo, se mantiene una uniformidad de ±0,1°C en la superficie de la oblea, y la repetibilidad se mantiene dentro de ese rango, batch tras batch. La construcción compatible con salas limpias reduce al mínimo la generación de partículas, lo cual es ideal para ambientes de clase 1–100. La eficiencia del calentador permanece estable incluso después de más de 5,000 horas de uso, con una disminución mínima en su rendimiento al final de su vida útil.

Tubo on Master Infrared Heating Systems

Lámpara de doble tubo _con revestimiento de oro

Tubo calentador de cuarzo de onda media