در محیط کارخانه، یک SRD که بر روی ویفر علامت یا ذرهای باقی میگذارد نه تنها ظاهری نامناسب دارد، بلکه منجر به کاهش بازدهی میشود. لامپ مادون قرمز محرک حرارتی کل چرخه است و خط مرزی بین یک فرایند خشک که مطابق با بودجه حرارتی است و یک فرایند که به فیلم فشار وارد میکند را تعیین میکند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
ما لامپهای مادون قرمز SRD را بر اساس پنجره فرآیند طراحی میکنیم، نه بر اساس یک برگه مشخصات براق. NIR با موج کوتاه به شما یک افزایش دما سریع میدهد و پوشش کوارتز به همراه هندسه بازتابنده یکنواختی در سطح ویفر را در ±0.1°C در طول چرخش حفظ میکند. خروجی به اندازه کافی پایدار باقی میماند تا از یکپارچگی فوتورزیست پس از پخت نرم و پخت سخت محافظت کند و به صورت ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته بدون افزودن ذرات کار میکند—مناسب برای اتاق تمیز کلاس ۱-۱۰۰. قابلیت تکرارپذیری به رسیدن به همان نقطه تنظیم، چرخه به چرخه، با حداقل انحراف در طول هزاران ساعت بستگی دارد.
چرا در یک SRD کار میکند
در یک SRD، لامپ باید آبکشی را تبخیر کند بدون اینکه زیرلایه یا لایه پلیمر را بپزد. کنترل حرارتی دقیق مرحله خشک را کاهش میدهد، کنترل ابعاد بحرانی را تنگ نگه میدارد و ضایعات را پایین میآورد. شما ظرفیت تولید و فواصل نگهداری قابل پیشبینی را افزایش میدهید، در حالی که مصرف انرژی به لطف جفتسازی مؤثر NIR و پاسخ حرارتی سریع کاهش مییابد. در خطوط لیتوگرافی، این به معنای تعداد کمتری از دستههای بازسازی و تاریخچه حرارتی خط دید یکنواخت بر روی هر ویفر است.
جزئیات عملی
نصب باید کاملاً دقیق باشد: تراز نوری با محور چرخش و یک رابط تمیز به محفظه. اگر این موارد رعایت نشود، نقاط داغ و خشک شدن نامنظم را مشاهده خواهید کرد. لامپ باید در محدوده ولتاژ و پارامترهای خنککننده مشخص شده کار کند و هندسه محفظه باید با پروفایل بازتابنده مطابقت داشته باشد. برنامهریزی کنید که یک دوره سوختسوزی کوتاه داشته باشید و سپس چکهای دورهای خروجی برای حفظ همان یکنواختی ±0.1°C در طول کل چرخه کاری SRD انجام دهید.