چرا از طلا برای پوشش دیوارههای دستگاههای گرمایشی استفاده میکنیم؟
وقتی که سیلیکون را گرم میکنیم، هر واحد انرژی اهمیت زیادی دارد. اگر این انرژی به جای رسیدن به سطح ویفر، در دیوارههای دستگاه جذب شود، در واقع در حال هدر دادن انرژی و زمان هستیم.
به همین دلیل از فناوری بازتابنده طلا برای پوشش دیوارههای دستگاههای ساخته شده از فولاد ضدزنگ استفاده میکنیم. هدف سادهای وجود دارد: ما میخواهیم که هر واط از تشعشعات مادون قرمز دقیقاً به سمت ویفر بازتاب شود.
ویژگیهای طلا
فولاد ضدزنگ صیقلی نیز کار خوبی انجام میدهد؛ اما در مواجهه با تشعشعات مادون قرمز، عملکرد آن ضعیف میشود. اما طلا متفاوت است؛ طلا بیش از ۹۸٪ از این انرژی را بازتاب میدهد.
با استفاده از طلا برای پوشش دیوارههای دستگاه، آنها به یک آینه تبدیل میشوند. در این صورت، انرژی به جای جذب شدن توسط دیوارهها، دقیقاً به سمت ویفر بازتاب میشود.
ساختار مقاوم
ما از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا برای ساخت دستگاهها استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون این دستگاهها در معرض چرخههای حرارتی شدید قرار میگیرند، و نمیتوانیم اجازه دهیم که دیوارههای دستگاه تغییر شکل دهند.
برای اعمال لایه طلا، از روش تهنشینی در خلأ استفاده میکنیم؛ این روش دقیقی است که اطمینان میدهد لایه طلا در جای خود باقی بماند. شما نخواهید دید که لایه طلا پوستهپوسته شود یا جدا شود.
اما مشکل اینجاست: اگر منحنی دیوارههای دستگاه حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط گرم ایجاد خواهد شد؛ این موضوع برای یکنواختی ویفر مشکلساز خواهد بود. ما فاصله کانونی دستگاه را به گونهای تنظیم میکنیم که انرژی در سراسر ویفر به طور یکنواخت توزیع شود.
معایب
طلا یک بازتابنده فوقالعاده است، اما نرم است. اگر فرآیند شما از گازهای خورنده یا ذرات ساینده استفاده کند، لایه طلا با گذشت زمان آسیب خواهد دید. وقتی این سوراخهای کوچک ایجاد شوند، کارایی دستگاه کاهش خواهد یافت.
شما باید مراقب تمیز نگه داشتن سطوح دستگاه باشید؛ در غیر این صورت، مجبور خواهید بود توان دستگاه را افزایش دهید تا انرژی از دست رفته را جبران کنید.